其他道工艺设备(第6页)_深圳市矢量科学仪器有限公司

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产品分类

倒片机
型号：WS-ALN100/150 参考价：￥咨询

ws-aln100/150 倒片机，晶圆全自动取放，人工替代，良好控制颗粒。

所在地：中国大陆
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倒片机
型号：WS-PE100/150 参考价：￥咨询

ws-pe100/150 倒片机，晶圆全自动取放，人工替代，良好控制颗。

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12英寸单片快速热退火系统
型号：Sitara TA230A 参考价：￥咨询

sitara ta230a 12英寸单片快速热退火系统，适用于 260-1200℃快速热处理工艺。

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碳化硅快速热退火系统
型号：Pallas A220 参考价：￥咨询

pallas a220 碳化硅快速热退火系统，加热分区设计，具备良好的温度均匀性。

所在地：中国大陆
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感应式碳化硅长晶炉
型号：APS系列参考价：￥咨询

aps系列感应式碳化硅长晶炉，适用于 6 英寸、8 英寸，导电 / 高纯半绝缘型 sic 晶体生长。

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电阻式碳化硅长晶炉
型号：AGF系列参考价：￥咨询

agf系列电阻式碳化硅长晶炉，适用于 6、8 英寸，导电 / 高纯半绝缘型 sic 晶体生长。

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立式/卧式管舟清洗设备
型号：Bpure系列参考价：￥咨询

bpure系列立式/卧式管舟清洗设备,全自动清洗，浸泡式清洗与喷淋式清洗工艺可选。

所在地：中国大陆
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等离子清洗设备
型号：PC-1100 参考价：￥咨询

pc-1100是一种平行板式等离子清洗机，用于清洗样品表面的有机和无机污染。该工艺室允许用户安装多个电架，架式电配置的灵活性支持从小型电子元件到大型基板等多种产品的批量处理。

所在地：日本
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紫外线臭氧清洗机
型号：UV-1 参考价：￥咨询

uv-1是一款紧凑型台式紫外线臭氧清洗机。该系统将紫外线照射、臭氧和平台加热独特地结合在一起，温和而有效地去除硅、玻璃、化合物半导体（gan、gaas、inp、sic）、蓝宝石、陶瓷等各种..

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紫外线臭氧清洗设备
型号：UV-300HC 参考价：￥咨询

uv-300hc是一款高性能的盒式装载uv臭氧清洗机，用于生产。这个行业先的系统有2个装载盒，可以达到200-300nm/min的高灰化率。该系统利用紫外线照射、高浓度臭氧和可控阶段加热的..

所在地：日本
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Batch式高真空蒸发设备
型号：ei系列参考价：￥咨询

batch式高真空蒸发设备ei系列是可对应在基板上成金属膜或氧化物膜的设备。可通过操作面板实现抽真空、成膜等作业内容的集中自动化操作，适用于研究开发及少量生产。

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活性化退火设备
型号：PFS系列参考价：￥咨询

pfs系列是sic工艺等高温处理工艺中，配合使用的退火设备。可大对应φ 150mm。

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真空蒸馏设备
型号：CEH系列参考价：￥咨询

真空蒸馏设备ceh系列。该设备的用途是真空蒸馏处理。可在真空下低温短时间蒸馏热感受性高的物质（热分解·重重合的物质）。具有非常优异的分离效率。

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有机EL成膜设备SOLCIET
型号：SATELLA, ZELDA系列参考价：￥咨询

有机el成膜设备solciet, satella, zelda系列。ulvac面向有机el材料开发提供实验用设备系统到量产cluster系统设备和inline系统设备。

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自动氦检漏设备
型号：ALT·S系列参考价：￥咨询

自动氦检漏设备alt·s系列（super alt）使用he作为检知气体的设备。应用ulvac技术，运用全新机构，使得省空间、高速、全自动处理成为可能。

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小型冻结真空干燥设备
型号：DFM系列参考价：￥咨询

小型冻结真空干燥设备dfm系列医药域的少量生产以及，实验用冻结真空干燥设备。具有省空间、低价格、高功能等实验用途要求。为了满足这样的需求，爱发科商品化了dfm系列设备。

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卷绕式真空蒸镀设备
型号：EW系列参考价：￥咨询

卷绕式真空蒸镀设备 ew系列塑料薄膜、纸、金属箔等连续卷绕的同时，对金属和氧化物进行蒸镀的成膜设备。从小型的实验机到大量的生产设备，此外，还提供一系列用于包装材料，电容器，磁带等其他应用的..

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真空炉
型号：FB系列参考价：￥咨询

真空炉fb系列安装了egr冷却器、散热器、蒸发器等各种热交换器的真空炉设备。公司开发了从批次式到连续炉的丰富产品系列。同时面向特殊用途的设备定制。

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纵向式Cat-CVD设备
型号：CCV系列参考价：￥咨询

纵向式cat-cvd设备ccv系列ccv series是a-si镀膜用的纵向式cvd设备。有30年以上的量产实绩。在各个chamber通过低压镀膜，得到高品质的膜质。

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枚叶式PECVD设备
型号：CME-200E/400 参考价：￥咨询

枚叶式pecvd设备cme-200e/400枚叶式pe-cvd设备cme-200e/400是适用于si系绝缘膜、barrier膜等成膜的量产用pecvd设备。

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