1. 产品概述

AGF系列 电阻式碳化硅长晶炉，适用于 6、8 英寸，导电 / 高纯半绝缘型 SiC 晶体生长。

2. 设备用途/原理

AGF系列 电阻式碳化硅长晶炉，适用于 6、8 英寸，导电 / 高纯半绝缘型 SiC 晶体生长，4 组加热器独立控制，灵活的温场调节机能力。坩埚系统具备升降、旋转功能，温场更均匀，下装载，上维护，操作便捷。

3. 设备特点

晶体尺寸 6、8 英寸，加热方式 电阻加热，适用材料 碳化硅，适用工艺 物理气相输运法（PVT 法），适用域 科研、化合物半导体。