1. 产品概述

UV-300HC是一款高性能的盒式装载UV臭氧清洗机，用于生产。这个行业先的系统有2个装载盒，可以达到200-300nm/min的高灰化率。该系统利用紫外线照射、高浓度臭氧和可控阶段加热的独特组合，温和而有效地去除硅、玻璃、化合物半导体（GaN、SiC、GaAs和InP）、蓝宝石、陶瓷等各种基材上的有机物。

2. 设备用途/原理

大加工尺寸为ø240 mm (ø3" x 5, ø4" x 3, ø8" x 1)200 - 300 nm/min的高灰化率。加热阶段加快了清洗速度，实现了宽广的工艺温度范围。通过调整平台和石英扩散板之间的间隙，可以提高基板的均匀性。紧凑，使用小的洁净室空间简单，在大气压下操作－－不需要真空系统。柔软、完全干燥的工艺不会对基材造成电损伤。内置臭氧催化剂装置，可将废气中的臭氧浓度降低到安全水平。