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深圳市矢量科学仪器有限公司

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  • 离子注入机
    离子注入机
    型号：customized   参考价：￥咨询
    离子注入机是高压小型加速器中的一种，应用数量多。它是由离子源得到所需要的离子，经过加速得到几百千电子伏能量的离子束流，用做半导体材料、大规模集成电路和器件的离子注入，还用于金属材料表面改性..
    所在地：中国大陆    
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  • 离子注入设备
    离子注入设备
    型号：SOPHI-30   参考价：￥咨询
    可对应低速高浓度的离子注入设备sophi-30低加速、高浓度对应的离子注入设备。
    所在地：日本    
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  • 离子注入设备
    离子注入设备
    型号：SOPHI-400   参考价：￥咨询
    高能对应离子注入设备sophi-400可达2400kev的高能离子注入设备。
    所在地：日本    
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  • 离子注入设备
    离子注入设备
    型号：IMX-3500   参考价：￥咨询
    研究开发用中电流离子注入设备imx-3500中电流离子注入装置imx-3500为大能量200kev、对应大晶圆尺寸8inch的离子注入装置，适用于大学等机构的研究开发。
    所在地：日本    
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  • SiC用高温离子注入设备
    SiC用高温离子注入设备
    型号：IH-860DSIC   参考价：￥咨询
    sic用高温离子注入设备 ih-860dsic搭载了高温esc（静电吸附卡盘）的面向sic量产用的高能粒子注入装置。
    所在地：日本    
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