1. 产品概述

Pallas A220 碳化硅快速热退火系统，加热分区设计，具备良好的温度均匀性，高精度的控温模式，更优的升温速率。

2. 设备用途/原理

Pallas A220 碳化硅快速热退火系统，加热分区设计，具备良好的温度均匀性，高精度的控温模式，更优的升温速率。

3. 设备特点

晶圆尺寸 6/8 英寸兼容，适用工艺 快速热退火。适用域 科研、化合物半导体。