1. 产品概述

APS系列 感应式碳化硅长晶炉，适用于 6 英寸、8 英寸，导电 / 高纯半绝缘型 SiC 晶体生长。

2. 设备用途/原理

APS系列 感应式碳化硅长晶炉，适用于 6 英寸、8 英寸，导电 / 高纯半绝缘型 SiC 晶体生长。创新的结构设计，提供高纯材料生长能力。智能的运行 / 监控系统，适于长时间 / 高温 / 低压工艺，拓宽高质量 / 大规模晶体生长窗口。包含多款辅助设备：大产能原料合成炉、晶锭退火炉、氮化铝长晶炉及 其他定制化设备。

3. 设备特点

晶体尺寸 6、8 英寸，加热方式 感应加热，适用材料 碳化硅、氮化铝，适用工艺 物理气相输运法（PVT 法），适用域 科研、化合物半导体。