其他道工艺设备(第3页)_深圳市矢量科学仪器有限公司

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产品分类

全自动硅料清洗机
型号：customized 参考价：￥咨询

主要用于对硅材料行业中多晶硅块进行清洗干燥处理

所在地：中国大陆
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单腔立式甩干机
型号：customized 参考价：￥咨询

适用于晶圆直径至200mm；25片晶圆单盒工艺；标准的高边和低边花篮；可选内置电阻率检测传感器来控制晶圆的清洗工艺；用冷或热的n2辅助晶圆干燥；离心头容易更换。去静电装置安装于工艺腔室区：..

所在地：中国大陆
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12英寸立式中高温氧化炉
型号：THEORIS X302系列参考价：￥咨询

theoris x302h主要用于12英寸1000℃-1200℃高温和超高温氧化和退火工艺。该机台为立式单腔炉管系统，工艺处理过程实现了高度自动化。系统主要由传输模块、工艺模块、电源柜等部..

所在地：中国大陆
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LED映射分选机
型号：LED映射分选机系列参考价：￥咨询

mpi 自豪地推出 led 映射分拣机系列，该系列采用模块化架构设计，具有无与伦比的灵活性，使每个系统都能满足每个客户的精确要求。mpi led 映射分拣机利用先进的 pick & pla..

所在地：港澳台
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快速退火炉
型号：RTP-100 参考价：￥咨询

由德国尤尼坦公司研发的快速退火炉rtp-100，升温速率可高达 150 k/sec。

所在地：欧洲
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快速退火炉
型号：RTP-100-EP 参考价：￥咨询

德国unitemp研发的符合真空标准的快速退火炉rtp-100-ep，升温速率高达 200 k/sec。

所在地：欧洲
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快速退火炉
型号：RTP-100-HV 参考价：￥咨询

德国unitemp研发的符合高真空标准的快速退火炉rtp-100-hv，升温速率可高达 150 k/sec。主要特点：良好的温度均匀性、精确控制的斜坡上升速率和快速斜坡下降速率、工艺周转时..

所在地：欧洲
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快速退火炉
型号：RTP-100-HV-EP 参考价：￥咨询

由德国unitemp研发的符合高真空标准的快速退火炉，升温速率高达 200 k/sec。主要特点：良好的温度均匀性、精确控制的斜坡上升速率和快速斜坡下降速率、工艺周转时间短、舒适的气体控制..

所在地：欧洲
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快速退火炉
型号：RTP-150 参考价：￥咨询

由德国unitemp研发的快速退火炉rtp-150，升温速率高达 75 k/sec。主要特点：良好的温度均匀性、精确控制的斜坡上升速率和快速斜坡下降速率、工艺周转时间短、舒适的气体控制、台..

所在地：欧洲
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快速退火炉
型号：RTP-150-EP 参考价：￥咨询

由德国unitemp研发的真空快速退火炉rtp-150-ep，升温速率高达 150 k/sec。主要特点：良好的温度均匀性、精确控制的斜坡上升速率和快速斜坡下降速率、工艺周转时间短、舒适的..

所在地：欧洲
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快速退火炉
型号：RTP-150-HV 参考价：￥咨询

由德国unitemp研发符合高真空标准的快速退火炉，升温速率高达 75 k/sec。，升温速率高达 150 k/sec。主要特点：良好的温度均匀性、精确控制的斜坡上升速率和快速斜坡下降速率..

所在地：欧洲
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快速退火炉
型号：RTP-200 参考价：￥咨询

由德国unitemp研发的用于 200 毫米（8 英寸）晶圆尺寸或 m10 182 x 182 毫米太阳能硅片的快速退火炉rtp-200。

所在地：欧洲
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卧式减薄机
型号：IHG-2010 参考价：￥咨询

卧式减薄机是一款性价比很高的小型高精度研削设备，采用砂轮轴横卧的安装方式，手动装片，通过砂轮进给控制研削量。设备工作台可根据客户需求进行定制化，应用广泛。

所在地：中国大陆
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全自动减薄机
型号：TFG-3200 参考价：￥咨询

全自动减薄机是一款功能全面，兼容性好，配置丰富，全自动系统的高精度研磨设备，全自动上下片，干进干出的全自动研削系统；自动厚度测量多段研削程序超负载等待；可磨削各类半导体材料兼容6&8..

所在地：中国大陆
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半自动单轴减薄机
型号：IVG-2020/3020 参考价：￥咨询

半自动单轴减薄机是一款操作简单、功能丰富、性价比高的高精度研削设备，采用手动装片方式，配置自动厚度测量和补偿系统，可自动研削至目标值。工作台可根据客户需求进行定制化，应用广泛。

所在地：中国大陆
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半自动双轴减薄机
型号：IVG-2035/3035 参考价：￥咨询

半自动双轴减薄机是一款安装两个砂轮轴的高精度研削设备，采用手动装片方式，配置自动厚度测量和补偿系统，产品粗磨后移动至精磨位置，自动研削至目标值。工作台可根据客户需求进行定制化，应用广泛。

所在地：中国大陆
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全自动单轴减薄机
型号：IVG-2040/3040 参考价：￥咨询

全自动减薄机是配有全自动上、下片系统的高精度研削设备，采用晶圆机械手取片，带有自动对中、清洗、干燥功能，可实现盒到盒、干进干出的全自动减薄抛光研削加工。

所在地：中国大陆
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双面晶圆研磨机
型号：TDL-600/1200 参考价：￥咨询

双面研磨机是一款操作简单，兼容性强的高效率研磨加工设备。主要用于晶片的双面机械研磨，通过搭配不同材质的研磨盘和不同粒径及材质的研磨液，可以实现不同材料，不同尺寸，不同厚度的晶片研磨。

所在地：中国大陆
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双面抛光机
型号：TDP-1200/1200A 参考价：￥咨询

双面抛光机分为双面机械抛光和双面化学抛光两种，分别代表双面抛光的粗加工和精加工。主要用于晶片的表面抛光，操作简单，搭配不同的夹具，抛光垫，抛光液可以实现不同材料，不同尺寸，不同厚度的晶片抛..

所在地：中国大陆
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激光尖峰退火系统(下架）
型号：LSA 101 参考价：￥咨询

veeco 的 lsa101 系统安装在的 idm 和晶圆代工厂，是大批量制造 40nm 至 14nm 节点的先进逻辑器件的技术。lsa 101 的扫描技术基于 veeco 的可定制 un..

所在地：美洲
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