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深圳市矢量科学仪器有限公司

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  • 纵向式Cat-CVD设备
    纵向式Cat-CVD设备
    型号：CCV系列   参考价：￥咨询
    纵向式cat-cvd设备ccv系列ccv series是a-si镀膜用的纵向式cvd设备。有30年以上的量产实绩。在各个chamber通过低压镀膜，得到高品质的膜质。
    所在地：日本    
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  • 枚叶式PECVD设备
    枚叶式PECVD设备
    型号：CME-200E/400   参考价：￥咨询
    枚叶式pecvd设备cme-200e/400枚叶式pe-cvd设备cme-200e/400是适用于si系绝缘膜、barrier膜等成膜的量产用pecvd设备。
    所在地：日本    
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  • Load-lock式Plasma CVD设备
    Load-lock式Plasma CVD设备
    型号：CC-200/400   参考价：￥咨询
    load-lock式plasma cvd设备 cc-200/400load-lock式plasma cvd设备cc-200/400是小型的使用便利的可对应从研究开发到量产的设备。
    所在地：日本    
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  • 枚叶式等离子CVD设备
    枚叶式等离子CVD设备
    型号：CMD系列   参考价：￥咨询
    枚叶式等离子cvd设备cmd系列cmd系列是用sih4和teos成膜的a-si膜、氧化硅膜、氮化膜成膜用的枚叶式cvd设备。
    所在地：日本    
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