1 产品概述:

自动氦检漏设备，特别是氦质谱检漏仪，是一种高精度、高灵敏度的气体泄漏检测设备。它利用氦气作为示踪气体，通过质谱仪分析技术，能够迅速定位并测量封闭设备或系统中的微小泄漏。这类设备广泛应用于多个域，如半导体制造、航空航天、制冷空调、汽车制造、真空技术、核工业以及医疗设备等，确保产品和系统的密封性能达到要求。

2 设备用途：

半导体制造：用于检测封装、真空腔体、气路系统等是否存在漏气，确保产品质量。

航空航天：检测航天器和火箭的燃料系统、生命支持系统、热控系统等关键部位的微小泄漏，保障飞行安全。

制冷空调：检测蒸发器、冷凝器、管路等部件的漏气问题，提高系统性能。

汽车制造：检测空调系统、燃油系统、制动系统等关键系统的泄漏，确保汽车的安全性和可靠性

3 设备特点

高灵敏度：自动氦检漏设备能够快速发现和定位小的泄漏点，甚至能检测到低浓度的氦气，这是其为突出的特点之一。

高精度：通过精确的质谱分析技术，设备能够准确测量氦气的浓度，从而精确定位泄漏点，提高检测的准确性。

检测范围广：适用于多种设备和系统的泄漏检测，包括但不限于上述提到的域。
4 技术参数和特点：

• 测试台上采用了旋转机构，使得工件装卸作业时间减半。

• 由于He气体封入工艺和检漏工艺分别在不同的地方进行，可以大幅缩短处理时间。

• 搭载He检漏仪【HELIOT-ZERO】，可确认真空排气中从检查品漏出的He气体。

• 因为可高速处理，可减少测试腔体数，节省空间。

• 可减少一个腔体，作业位置无需移动，提高作业效率。

• 设备模块化，现地安装时间可以缩短。

• 由于泵可从设备本体中单独取出的构造，方便进行修理。