退火设备(第1页)_深圳市矢量科学仪器有限公司

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分类退火设备

产品分类

快速退火炉RTP
型号：customized 参考价：￥咨询

主要功能：快速热退火，快速热氧化，快速热氮化，扩散，化合物半导体退火，离子注入后退火，电合金化等。

所在地：中国大陆
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激光退火设备
型号：customized 参考价：￥咨询

半导体激光退火机是用于半导体制造过程中的一种设备。退火是一种热处理过程，通过加热半导体材料来改变其性质，以实现所需的特性，如电导率、晶体结构和应力缓解。半导体激光退火机利用高能激光束来对半..

所在地：中国大陆
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快速退火炉
型号：RTP-100 参考价：￥咨询

由德国尤尼坦公司研发的快速退火炉rtp-100，升温速率可高达 150 k/sec。

所在地：欧洲
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快速退火炉
型号：RTP-100-EP 参考价：￥咨询

德国unitemp研发的符合真空标准的快速退火炉rtp-100-ep，升温速率高达 200 k/sec。

所在地：欧洲
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快速退火炉
型号：RTP-100-HV 参考价：￥咨询

德国unitemp研发的符合高真空标准的快速退火炉rtp-100-hv，升温速率可高达 150 k/sec。主要特点：良好的温度均匀性、精确控制的斜坡上升速率和快速斜坡下降速率、工艺周转时..

所在地：欧洲
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快速退火炉
型号：RTP-100-HV-EP 参考价：￥咨询

由德国unitemp研发的符合高真空标准的快速退火炉，升温速率高达 200 k/sec。主要特点：良好的温度均匀性、精确控制的斜坡上升速率和快速斜坡下降速率、工艺周转时间短、舒适的气体控制..

所在地：欧洲
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快速退火炉
型号：RTP-150 参考价：￥咨询

由德国unitemp研发的快速退火炉rtp-150，升温速率高达 75 k/sec。主要特点：良好的温度均匀性、精确控制的斜坡上升速率和快速斜坡下降速率、工艺周转时间短、舒适的气体控制、台..

所在地：欧洲
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快速退火炉
型号：RTP-150-EP 参考价：￥咨询

由德国unitemp研发的真空快速退火炉rtp-150-ep，升温速率高达 150 k/sec。主要特点：良好的温度均匀性、精确控制的斜坡上升速率和快速斜坡下降速率、工艺周转时间短、舒适的..

所在地：欧洲
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快速退火炉
型号：RTP-150-HV 参考价：￥咨询

由德国unitemp研发符合高真空标准的快速退火炉，升温速率高达 75 k/sec。，升温速率高达 150 k/sec。主要特点：良好的温度均匀性、精确控制的斜坡上升速率和快速斜坡下降速率..

所在地：欧洲
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快速退火炉
型号：RTP-200 参考价：￥咨询

由德国unitemp研发的用于 200 毫米（8 英寸）晶圆尺寸或 m10 182 x 182 毫米太阳能硅片的快速退火炉rtp-200。

所在地：欧洲
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激光尖峰退火系统(下架）
型号：LSA 101 参考价：￥咨询

veeco 的 lsa101 系统安装在的 idm 和晶圆代工厂，是大批量制造 40nm 至 14nm 节点的先进逻辑器件的技术。lsa 101 的扫描技术基于 veeco 的可定制 un..

所在地：美洲
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激光尖峰退火设备
型号：LSA 101 参考价：￥咨询

veeco 的 lsa101 系统安装在全球先的 idm 和晶圆代工厂，是大批量制造 40nm 至 140nm 节点的先进逻辑器件的选技术。lsa 101 的扫描技术基于 veeco 的可..

所在地：美洲
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环境控制激光尖峰退火设备
型号：LSA 201 参考价：￥咨询

veeco 的 lsa201 激光尖峰退火（lsa）系统具有与 lsa101 相同的架构，但包括获得利的微室设计，可在扫描激光系统中实现全晶圆环境控制。该微室的独特之处在于它不需要使用..

所在地：美洲
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碳化硅高温氧化炉
型号：VERIC A6151A 参考价：￥咨询

veric a6151a 碳化硅高温退火炉,适用于碳化硅高温激活 & 退火的设备。

所在地：中国大陆
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8英寸立式炉
型号：FLOURIS 201系列参考价：￥咨询

flouris 201系列 8英寸立式炉，高精度温度场控制技术，可实现 1200℃ 内氧化退火工艺。

所在地：中国大陆
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12英寸立式低温退火炉
型号：THEORIS A302L 参考价：￥咨询

theoris a302l 12英寸立式低温退火炉，先进的压力控制系统。

所在地：中国大陆
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12英寸单片快速热退火系统
型号：Sitara TA230A 参考价：￥咨询

sitara ta230a 12英寸单片快速热退火系统，适用于 260-1200℃快速热处理工艺。

所在地：中国大陆
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碳化硅快速热退火系统
型号：Pallas A220 参考价：￥咨询

pallas a220 碳化硅快速热退火系统，加热分区设计，具备良好的温度均匀性。

所在地：中国大陆
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感应式碳化硅长晶炉
型号：APS系列参考价：￥咨询

aps系列感应式碳化硅长晶炉，适用于 6 英寸、8 英寸，导电 / 高纯半绝缘型 sic 晶体生长。

所在地：中国大陆
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电阻式碳化硅长晶炉
型号：AGF系列参考价：￥咨询

agf系列电阻式碳化硅长晶炉，适用于 6、8 英寸，导电 / 高纯半绝缘型 sic 晶体生长。

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