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产品完善度：
更新时间：2026/9/8 1:56:34关注度：570
关键词标签：活性化退火设备,PFS系列,爱发科,ULVAC
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1. 产品概述
PFS系列是SiC工艺等高温处理工艺中，配合使用的退火设备。可大对应φ 150mm。
2. 设备用途/原理
SiC功率器件用。研究开发。量产用。
3. 设备特点
大可对应φ150mm基板。大可加热2000℃。高真空对应。单批次25片一次性处理（也有5片处理机）
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