1 产品概述：

快速退火炉，又称RTP（Rapid Thermal Processing）快速热处理炉，是一种用于快速热处理、热氧化处理、高温退火等工艺的设备。它利用卤素红外灯等高效热源，通过快的升温速率（可达150摄氏度/）和精确的温控系统，将晶圆或材料快速加热到所需温度（高可达1200摄氏度），并在短时间内完成退火过程，从而消除材料内部缺陷，改善产品性能。快速退火炉广泛应用于半导体、LED、MEMS、化合物半导体和功率器件等多种芯片产品的生产中，是现代微电子制造域不可或缺的重要设备。

2 设备用途：

1、快速热处理（RTP）：用于对晶圆或材料进行快速加热和冷却处理，以改善晶体结构和光电性能。

2、快速退火（RTA）：通过快速升温和降温过程，消除材料内部的应力、缺陷和杂质，提高材料的性能。

3 、热氧化处理（RTO）：在特定气氛下对材料进行加热处理，形成所需的氧化物层。

4、离子注入/接触退火：在离子注入后对材料进行退火处理，以激活注入的离子并改善材料的电学性能。

5、 金属合金化：如SiAu、SiAl、SiMo等合金的制备过程中，通过快速退火促进合金化反应。

6、 化合物合金制备：如砷化镓、氮化物等化合物的合金制备过程中，快速退火炉也发挥着重要作用生。同时，加热还可以促进化学反应的进行，提高处理效果。

3. 设备特点

1 高效加热与快速升降温：采用卤素红外灯等高效热源，升温速率快，高可达150摄氏度/；降温速率也快，如从1000摄氏度降到300摄氏度仅需几分钟。

2 高精度温控系统：采用先进的微电脑控制系统和PID闭环控制温度，控温精度可达±0.5摄氏度，温控均匀性≤0.5%设定温度。

3 多功能性与灵活性：可根据用户工艺需求配置真空腔体、多路气体等，满足不同工艺条件的需求。

4 低污染与环保：试样反应区处在一个密闭的石英腔体内，大大降低了间接污染试样的可能性；同时，设备在设计和制造过程中注重环保理念，减少了对环境的污染。

5 操作简便与自动化：配备可视化触摸屏和智能控制系统，设定数据和操作都是图文界面，操作方便；同时，可实现单台或多台电炉的远程控制、实时追踪、历史记录、输出报表等功能。4 设备参数：

4 技术规格

• 适用于直径达 200 毫米（8 英寸）的单个晶圆 • 集成气体入口和出口
• 高温度：1000 °C
• 升温速率：高达 50 K/（可选：100 K/）
• 通过热电偶控制温度，无石英室、铝室（可选配石英室）
• 尺寸：约 578 mm x 496 mm x 570 mm（宽 x 深 x 高）
• 重量： 约 70 公斤部件支架• 石英托盘，固定集成在门中

• 用于直径为 200 mm 的单晶圆和石墨基座的石英支架加热

• 由 2 x 12 个红外灯加热（红外加热器的标称电压/功率：230 V/2 kW）
• 顶部和底部加热（可选）
真空

• 压力刻度 10exp-3 hPa 或 RTP-200-HV 10exp-6 hPa

过程控制
• SPS 过程控制器，带 50 个程序，每个程序多 50 个步骤（以太网接口），SIMATIC
• 触摸面板上可存储 50 个程序，每个程序多 50 个步骤 • USB 2.0 接口，用于存储过程数据（CSV 文件格式）
• 包括 7 英寸触摸屏，操作直观舒适