1. 产品概述

THEORIS A302L 12英寸立式低温退火炉，先进的压力控制系统。

2. 设备用途/原理

THEORIS A302L 12英寸立式低温退火炉，先进的压力控制系统，高精度温度场控制技术，先进的颗粒控制技术，可靠的氢气工艺能力技术，高产能。

3. 设备特点

晶圆尺寸 12 英寸，适用材料硅。适用工艺 低压合金、金属 / 非金属退火、薄片退火。适用域新兴应用、集成电路、先进封装。