1. 产品概述：

GNP CLEANER-412S型CMP后清洗机集成了两个双刷站，设计紧凑，占地面积小，可清洗(4“~12“)晶圆。

适用晶圆尺寸:100mm(4")和300mm(12")

配置:喷淋清洗、单边刷清洗、旋转漂洗干燥(可选:分离QDR)

清洁器尺寸:1,100W 1,100D 1,650Hmm

电刷尺寸:070(外径)032(内径)170(长)毫米

刷隙调节:PLC自动控制(可选刷隙范围:-10mm ~ 2mm)

化学:NH4OH ~ 1%

可用刷型:双面PVA刷

电刷转速:高400rpm

旋转速度:手动加载与自动顺序，湿入/干出，大2,000rpmDIW冲洗/ N2吹

2. 工艺流程

手动加载，自动顺序，湿/干液晶触摸屏显示器，程序控制PLC式