1. 基本参数

适用晶圆尺寸:100mm(4") ~ 300mm(12")

配置:输入喷淋清洗，两个双面刷清洗和旋转漂洗干燥(可选:分离QDR)

清洗机尺寸:1610w 1260d 1640hmm电刷尺寸:070(外径)031(内径)170(长)毫米

预清洗工位:DIW喷雾清洗，工位间DIW帷幕清洗

辊刷工位

化学：nh4oh或DIW

刷头型式:PVA刷头，可同时清洗晶圆片的正反面

刷位调节:手动控制(可用刷隙范围:-10mm ~ 2mm)

转速:<满量程的±5%范围30 ~ 400rpm

化学品供应:4个喷嘴和通过毛刷

可用化学品:2个化学品[NH4OH]

化学和DI流量:<满量程的±5%。

转站

选项:超高速扫描

旋转速度:高2500转/分DI漂洗/ N2吹

控制工艺流程:手动加载，自动顺序，湿/干液晶触摸屏显示器，程序控制PLC式。