1. 产品概述

适用晶圆尺寸:200mm(8")和300mm(12")

配置:独立配置4个清洗工位，DIW刀预清洗，2个双面滚刷清洗，N2吹旋转漂洗干燥(可选分离式QDR)清洁器尺寸:1,970W 975D 1,380Hmm

电刷尺寸:70(外径)32(内径)320(长)毫米

预清洗工位:DIW喷雾清洗，工位间DIW帷幕清洗

辊刷工位

化学：nh4oh（<1%）或DIW

刷型:双面PVA刷

转速:<满量程的±2%范围30 ~ 300rpm

化学品供应:4个喷嘴和通过刷子

可用化学:2化学[NH4OH]

化学品流量:满量程< 1L/min

DI流量:满量程<5L/min

转站

旋转速度:高2500转/分DIW冲洗/ N2吹

控制工艺:自动上片，自动顺序，湿进/干出

程序控制:PC & PC触摸监控，程序可编程，计算机网络可比