1. 产品概述

Saqua SC3080A系列 12英寸单片清洗设备。

2. 设备用途/原理

Saqua SC3080A系列 12英寸单片清洗设备，精密的腔室微环境控制能力，支持多种化学品，高效的化学品回收效率，4 腔或 8 腔可选。

3. 设备特点

晶圆尺寸 12 英寸，适用材料 单晶硅、多晶硅、氧化硅、氮化硅、介质膜、金属膜。适用工艺 后段 Cu/Al 制程刻蚀后清洗、Al Pad 清洗、背面清洗、背面刻蚀， 后段控挡片回收。适用域 新兴应用、集成电路、先进封装。