8英寸电感耦合等离子体-深硅刻蚀（ICP-DSE）设备

1. 详细介绍

Pishow® D 系列深刻蚀设备，是针对8英寸~6英寸产线或科研深硅刻蚀工艺的用设备，拥有自主开发的优化设计，保证了优异的刻蚀精度控制和损伤控制。
提供Si Bosch工艺的解决方案。

该设备高性价比的解决方案和优秀的空间利用率，可帮助不同客户实现产能升。

2. 系统特性

Pishow® D 系列是采用深硅刻蚀技术的电感耦合等离子体（ICP）刻蚀设备

提供Bosch解决方案，实现对Si的高深宽比刻蚀

优化的气柜设计，缩短进气距离，短工艺切换时间小于1.0

Pishow® D 系列可选择8~4英寸晶圆，提供单腔式和多腔式等多种腔室搭配方。