等离子体增强CVD系统PD-100ST

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型号：PD-100ST
品牌： $brandModel.Title
所属地区：日本
原产地：国外-国外
产品摘要：PD-100ST是一种用于研发的低温(80 ~ 400°C)、高速(>300 nm/min)等离子体增强CVD系统。Samco的液态源CVD系统采用自偏置沉积技术和液态TEOS源，以低应力沉积SiO2薄膜，从薄膜到厚的薄膜（高达100 µm）。PD-100ST具有时尚、紧凑的设计，只需要小的洁净室空间。

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更新时间：2026/9/8 1:56:36关注度：558

关键词标签：SAMCO,cvd,等离子体增强CVD系统,,PD-100ST

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液体原料CVD设备PD-100ST 沉积物达ø100mm（4"）

概要
PD-100ST是一种用于研发的低温(80~400°C)、高速(>300nm/min)等离子体增强CVD系统。Samco的液态源CVD系统采用自偏置沉积技术和液态TEOS源，以低应力沉积SiO2薄膜，从薄膜到厚的薄膜（高达100µm）。PD-100ST具有时尚、紧凑的设计，只需要小的洁净室空间。

主要特点和优点
沉积物达ø100mm（4"）。
阴耦合自偏析沉积技术可以实现低应力薄膜的高速（>300nm/min）沉积。
通过低温沉积，可以在塑料表面上沉积薄膜。
高纵横比结构的优秀阶梯覆盖率
使用锗、磷、硼液源控制折射率。
PD-100ST设计时尚、紧凑，只需要小的洁净室空间。

应用
塑料材料上保护膜的沉积
在3DLSI的通孔侧壁上沉积绝缘膜。
光波导的制造（光纤芯/包层）。
制造用于微型机械生产的面罩。
覆盖高纵横比结构，如MEMS器件。
SAW设备的温度补偿膜和钝化膜。