1. 产品概述：

UNECS系列是可以高速、高精度测量薄膜膜厚和折射率的分光椭偏仪。采用的测量方式，实现了高速测量和机体的小型化。

我们的产品阵容包括便携式，自动式和对应真空环境的设备内置式类型。

2. 特点

高速測定
快照方法可实现高达20 ms的高速测量。

适用于可见光谱：
波长范围可选标准类型（530nm至750nm）和可见光谱类型（380nm至760nm）。

紧凑型传感器单元：
光发射和接收的传感器仅由没有旋转机构的光学部件组成，因此非常轻且紧凑，并且不需要定期维护。

丰富的产品阵容：
产品阵容应用广泛，包括如便携类型，手动/自动平台类型，大型基板类型，以及支持大气/真空环境的内置类型。

3. 用途

透明或半透明薄膜（氧化膜，氮化膜，抗蚀剂，ITO等）的膜厚，折射率，消光系数的测量