一、产品概述：

光学轮廓仪是一种高精度的测量仪器，利用光学技术对材料表面的轮廓和形貌进行非接触式测量。它通过分析反射光和干涉图样，能够获取样品表面的微观特征，广泛应用于材料科学、电子制造和精密工程等域。

二、设备用途/原理：

·设备用途

光学轮廓仪主要用于测量材料表面的粗糙度、形貌和高度变化。常见应用包括半导体器件的表面特性分析、光学元件的质量检测、涂层厚度测量以及微结构的表征。这些数据对于材料的性能评估、质量控制和研发过程至关重要。

·工作原理

光学轮廓仪的工作原理基于光的干涉和反射现象。仪器发射光束照射到样品表面，反射回来的光与参考光束进行干涉。通过分析干涉图样的变化，仪器能够精确测量样品表面的高度和形貌特征。由于采用非接触式测量，光学轮廓仪能够避免对样品的损伤，适合用于脆弱或敏感材料的表征。终生成的轮廓图可以提供详细的表面特征信息，帮助研究人员进行深入分析。

三、主要技术指标：

1. 测量模式：PSl, USl, VSl, 选配的 Film

2. 大扫描量程：≤10 mm

3. 横向分辨率：

4. 0.38 um minimum (Sparrow criterion)

5. 0.13 um (with AcuityXR)

6. 垂直分辨率：<0.01 nm

7. 台阶高度重复性：<0.75% <0.125% 1 sigma repeatability

8. 大扫描速度：122 um/sec (with laser reference)

9. 样品反射率范围：0.05% to 100%

10 .样品尺寸：350 mm * 304 mm x 304 mm (H x D * W) ；249 mm H 自动样品台

11. 大样品重量：45 kg (77 kg without standard stage)

12. XY 品台：300 mm 自动样品台

13. Z 轴聚焦：249(350 mm 不带自动台)

14. 光源：利双LED光源

15. 物镜：

16. Parfocal: 2.5X, 5x, 10X, 20X, 50X,100X, 115X

17. LWD: 1X, 2X, 5X，10X

18. TTM: 2x, 5X, 10x, 20X: Bright Field: 10X

19. Single-objective adapter; Optional motorized five-position turret

20. 放大器：0.55X，0.75X，1X，1.5X, 2X auto-sensing modules