1. 产品概述

SENTECH SE 500adv结合了椭圆偏振法和反射法，消除了测量透明薄膜层厚的模糊性。它将可测量的厚度扩展到 25 μm。因此，SE 500adv 扩展了标准激光椭偏仪 SE 400adv 的功能，特别适用于分析较厚的电介质、有机材料、光刻胶、硅和多晶硅薄膜。

2. 主要功能与优势

明确的厚度测定

椭圆偏振法和反射法的结合允许通过自动识别循环厚度周期来快速、明确地确定透明薄膜的厚度。

大的测量范围

激光椭偏仪和反射仪的结合将透明薄膜的厚度范围扩展到 25 μm 或更多，具体取决于所选的光度计选项。

突破激光椭圆偏振仪的限

多角度手动测角仪具有优秀的性能和角度精度，可以测量单片和层叠的折射率、消光系数和膜厚。

3. 灵活性和模块化

SENTECH SE 500adv 可用作激光椭偏仪、膜厚探头和 CER 椭偏仪。因此，它提供了标准激光椭偏仪无法达到的大灵活性。作为椭圆仪操作，可以执行单角度和多角度测量。当作为膜厚探头操作时，透明或弱吸收膜的厚度是在正常入射下测量的。

SE 500adv 中的椭圆偏振法和反射仪 （CER） 组合包括椭偏仪光学元件、测角仪、组合反射测量头和自动准直望远镜、样品平台、氦氖激光源、激光检测单元和光度计。