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更新时间:2026/9/8 1:56:36关注度:1094
关键词标签:分子束外延,MBE,VEECO
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1. 产品概述
屡获殊荣的新型 GENxcel™ 系统是在 GENxplor 的基础上进行的扩展,GENxplor™ 是自 2013 年 8 月推出以来畅销的 MBE 系统,与 GENxplor 系统的 3“ 功能相比,在单个 4 英寸衬底上具有高质量的外延生长。GENxcel 系统具有易于使用的手动传输系统、12 个源端口和完全集成到单框架设计中的现代电子设备,可实现大的实验室占地面积效率。
在直径达 4 英寸的衬底上实现高质量外延层
独特的单帧架构提高了易用性,提供了便捷的源访问和增强的可服务性
高效的一体化设计将手动系统与机载电子设备相结合,与其他 MBE 系统相比,可节省 40% 的实验室空间
非常适合对各种材料进行沿研究,包括砷化镓、氮化物和氧化物
Molly® 软件集成了简单的配方编写、自动生长控制和始终在线的数据记录
可选的 Nova™ 超高温基板加热器,可在 1850° 下提供经过验证的性能
可直接扩展到 GEN20™、GEN200® 和 GEN2000® MBE 系统
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