1. 产品概述

多角度激光椭偏仪 SE 400adv PV 在 HeNe 激光波长为 632.8 nm 时，在纹理单晶和多晶硅片上提供抗反射单膜的膜厚度和折射率。可更换晶圆支架允许在多晶硅片和碱性纹理单晶硅片上进行测量。

2. 主要功能与优势

粗糙表面分析

高灵敏度和超低噪声检测允许在非理想的、引起杂散光的表面上进行测量，这些表面是纹理化单晶硅和多晶硅太阳能电池的典型特征。

非凡的准确性

由于稳定的激光光源、温度稳定的补偿器设置和超低噪声检测器，SENTECH SE 400adv PV 激光椭偏仪的主要特点是具有非凡的高稳定性和准确性。

精密涂层评估

SENTECH SE 400adv PV激光椭偏仪可以特别分析SiN涂层x、ITO、TiO2和SiO的薄钝化层2和 Al2O3.可以在光滑的基板上分析双层堆叠。

该工具是一款紧凑的仪器，可快速启动和运行。SENTECH易于使用，以配方为导向的软件包括一个全面的预定义应用程序包，可满足生产环境中的研发和质量控制要求。