1. 尺寸

48英寸（宽）x433/8英寸（深）x741/4英寸（高）（121.9厘米（宽）x110.04厘米（深）x188.60厘米（高）

2. 典型工艺

蚀刻

显影—水性/溶剂

清洁—水性/溶剂

硫酸/过氧化物（原位混合）

HBr

温控显影

漂洗/烘干

3. 特征

全聚丙烯结构（可提供自熄功能）

适合安装任何Laurell旋转处理器

穿孔湿甲板（易于拆卸）

湿式增压室

带仪表的排气增压室

下方为加热器、泵、容器的隔离组件/抽屉......

4. 选项

触摸屏控制界面

观看LaurellTouch演示视频

处理器排气联锁（EDC™型号标配）

化学加热

通过压力容器物料搅拌（磁性）

冲洗至电阻率

排水分流器

真空装载棒

晶圆盒支架

泄漏检测

灯塔

如有需要，可提供高材料

5. 阻燃选项

WS-1000-CP7-D—聚丙烯配方其阻燃特性符合严格的FMRC4910测试标准对于大多数方面的阻燃性、自熄性和烧穿特性。这种先进的材料还达到或超过了低烟雾产生和小有毒副产物的测试标准。