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纳米压印系统GL6 R&D

  • 参考价： 咨询
  • 型号：GL6 R&D
  • 品牌： $brandModel.Title
  • 所属地区：中国大陆
  • 原产地：山东-青岛市
  • 产品摘要：1.支持基底材料：硅片、玻璃、石英、塑料、金属等

    2.纳米压印技术：旋涂胶基底高精度压印&点胶自动找平压印、旋涂胶基底压印、点胶自动找平压印模式

    3.压印精度：优于10nm
    4.自动压印/自动脱模/自动工作模具复制/主动找平压印/模自动点胶：支持

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产品完善度：

更新时间：2026/9/8 1:56:33关注度：694

关键词标签：纳米压印系统,天仁微纳

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产品详情
产品介绍

1. 兼容基底尺寸：直径≤100mm
2. 支持基底材料：硅片、玻璃、石英、塑料、金属等
3. 纳米压印技术：旋涂胶基底高精度压印&点胶自动找平压印、旋涂胶基底压印、点胶自动找平压印模式
4. 压印精度：优于10nm
5. 结构深宽比：优于10：1
6. 残余层控制：可小于10nm 微米TTV控制精度
7. 紫外固化光源：紫外LED（365nm）面光源，光强>300mW/cm2
8. 自动压印/自动脱模/自动工作模具复制/主动找平压印/模自动点胶：支持
9. 模具基底对位系统：手动对位（选配）
10. 上下片方式：手动上下片
11. 随机提供全套纳米压印工艺与材料，包括DOE、AR斜齿光栅、高密度、高深宽比结构、微透镜阵列、匀光片结构等工艺流程，帮助客户零门槛达到国际先的纳米压印水平

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