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深圳市矢量科学仪器有限公司

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激光光刻机DWL 2000 GS / DWL 4000 GS

  • 参考价: 咨询
  • 型号:DWL 2000 GS / DWL 4000 GS
  • 品牌: $brandModel.Title
  • 所属地区:欧洲
  • 原产地:国外-国外
  • 产品摘要:DWL 2000 GS / DWL 4000 GS 激光光刻系统是快速、灵活的高分辨率图形发生器。它们针对工业灰度光刻进行了优化,设计用于集成电路、MEMS、微光学和微流体器件、传感器、全息图以及钞票的防伪特征的掩模和晶圆的高通量图案化。

产品完善度:

更新时间:2026/9/8 1:56:35关注度:659

关键词标签:海德堡,光刻

支付方式:

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1. 产品概述

MPO 100是海德堡仪器推出的一款先进多用户工具,门为复杂微结构的3D光刻和3D显微打印而设计。MPO 100采用了先进的双光子聚合(TPP)技术,这一技术在微光学、光子学、微力学以及生物医学工程等多个域的应用中表现出色,推动了这些域的技术进步和创新。

MPO 100所提供的多功能平台,使其在精度和生产效率方面达到了无与伦比的水平。它能够在单一高效的工艺步骤中,快速而准确地生产出复杂的功能性微结构。这一特性尤其适用于需要精细设计和高可靠性的应用,如高性能光学元件、微流体器件以及生物传感器等,满足市场对高精度和高效能的需求。

MPO 100的灵活性使得它可以适应多种材料和设计需求,支持不同用户的独特应用。此外,该设备的高吞吐量确保了生产效率,使得科研人员和工程师能够在短时间内进行多次实验和迭代,从而加速产品开发和技术验证。

2. 主要特点

高精度和高吞吐量:以低至 100 nm 的小特征尺寸实现卓越的精度。受益于扫描速度超过 1000 mm/s 的高速 3D 打印以及体素调优。

多种材料兼容性:利用 522 nm 的强大飞激光系统高效处理各种聚合物。利用经过行业验证的ORMOCER®杂化聚合物,具有卓越的光学、机械和化学性能。

免拼接微光学元件:通过独特的无限视场 (IFoV) 制造模式,无需拼接即可创建精确的微光学元件。

模块化3D打印平台:在 3D 光刻和 3D 显微打印之间无缝切换,具有特定于应用的写入模式和基板支架。制造高度超过 1 cm 的宏观结构和表面粗糙度低至 10 nm 的微观结构。

体素调优功能:在扫描过程中对体素尺寸进行微调,以减少所需的层数。

3. 应用

微光学:无需拼接即可创建高精度微光学元件,确保无缝集成。

光子学:将光子器件直接写入基板上,从而优化器件性能和集成度。

细观力学:生产具有高精度和可靠性的复杂微机械结构。

生物医学工程:制造针对特定应用量身定制的复杂生物医学设备和支架。

量子器件:开发高精度和定制化的先进量子器件,用于沿研究和应用。







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