1.产品概述：

KS-S150星型全自动涂胶显影机用于LED-PSS工艺的涂胶显影制程及化合物半导体的涂胶显影等制程。可兼容蓝宝石、砷化镓和碳化硅等材质的晶圆，产品涉及多个应用域，涂胶机产能大于190片/小时。设备通过了CSA认证。

2.应用域：

传感器芯片制造

光通信芯片制造

功率芯片制造

LED芯片制造

图形化衬底制造

化合物半导体域

3.产品优势：

1.占地小、稳定性高、操作与维护方便

2.产能高，涂胶机产能大于190片/小时

3.光刻胶用量小，4寸用量0.6ml

4.优异的流场设计，涂胶均匀性好