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更新时间:2026/9/8 1:56:35关注度:610
关键词标签:MOCVD,薄膜沉积,VEECO
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1.产品概述:
Lumina® 系统基于 Veeco 业界的金属有机物化学气相沉积 (MOCVD) TurboDisc® 技术,在长时间的生产过程中,其具有均匀性和低缺陷率,带来出色的产量和灵活性。此外,Veeco 的有技术也提供均匀的热控制,可实现的厚度和组合均匀性。该系统提供无缝晶片尺寸过渡,能够在直径达 8 英寸的晶片上沉积高质量 As/P 外延层。Lumina 系统允许用户自定义系统以实现大价值。
2.产品应用:
VCSEL
3D 传感
LiDAR
高速数据通信
边缘发射激光器
先进的光学通信
硅光电
迷你和微型 LED
4K 和 8K 电视显示屏
智能手机
可穿戴设备
AR/VR(增强现实/虚拟现实)
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