等离子体增强CVD系统PD-100ST

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型号：PD-100ST
品牌： $brandModel.Title
所属地区：日本
原产地：-
产品摘要：PD-100ST是一种用于研发的低温(80 ~ 400°C)、高速(>300 nm/min)等离子体增强CVD系统。Samco独特的液态源CVD系统采用自偏置沉积技术和液态TEOS源，以低应力沉积SiO2薄膜，从薄膜到厚的薄膜（高达100 µm）。PD-100ST具有时尚、紧凑的设计，只需要小的洁净室空间。

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更新时间：2026/9/8 1:56:34关注度：575

关键词标签：等离子体增强CVD系统,PD-100ST,SAMCO

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产品详情

1. 产品概述

PD-100ST是一种用于研发的低温(80 ~ 400°C)、高速(>300 nm/min)等离子体增强CVD系统。Samco独特的液态源CVD系统采用自偏置沉积技术和液态TEOS源，以低应力沉积SiO2薄膜，从薄膜到厚的薄膜（高达100 µm）。PD-100ST具有时尚、紧凑的设计，只需要小的洁净室空间。

2. 设备用途/原理

塑料材料上保护膜的沉积。在3D LSI的通孔侧壁上沉积绝缘膜。光波导的制造（光纤芯/包层）。制造用于微型机械生产的面罩。覆盖高纵横比结构，如MEMS器件。SAW设备的温度补偿膜和钝化膜。

3. 设备特点

沉积物达ø100 mm（4"）。阴耦合自偏析沉积技术可以实现低应力薄膜的高速（>300 nm/min）沉积。通过低温沉积，可以在塑料表面上沉积薄膜。高纵横比结构的优秀阶梯覆盖率，使用锗、磷、硼液源控制折射率。PD-100ST设计时尚、紧凑，只需要小的洁净室空间。