1. 产品概述

MARS iCE120 多片碳化硅外延系统，产能大，6 英寸运营成本低。

2. 设备用途/原理

MARS iCE120 多片碳化硅外延系统，产能大，6 英寸运营成本低。薄膜和厚膜外延兼容，工艺稳定性高。具备多层外延能力。气流场和加热场设计，工艺性能优异。可靠的压力控制系统，成膜质量均一性好。兼容 8 英寸。

3. 设备特点

晶圆尺寸 6、8 英寸，适用材料 碳化硅 SiC，适用工艺 N&P 碳化硅外延，适用域 科研、化合物半导体。