一、产品概述：

精密离子减薄仪是一种高精度的样品制备设备，门用于通过离子轰击去除材料表面层，以实现样品的薄化和表面优化。该仪器广泛应用于材料科学、电子显微镜样品制备和半导体行业。

二、设备用途/原理：

·设备用途

精密离子减薄仪主要用于制备电子显微镜样品，帮助研究人员获得高质量的超薄样品，以便进行微观结构分析和材料特性研究。它也适用于去除表面缺陷和改善材料的表面质量，以满足高端应用的需求。

·工作原理

精密离子减薄仪通过生成高能离子束并将其聚焦到样品表面，利用离子轰击去除表面材料。仪器可以精确控制离子束的能量、轰击角度和处理时间，以实现均匀的减薄效果。通过调节这些参数，用户能够获得所需的样品厚度和表面特性，确保样品在后续电子显微镜观察中的高分辨率和准确性。

三、主要技术指标：

1. 两支独立可调电磁聚焦离子枪

2. 同时具备高能量(快速抛光)和低能量(精细修复)

3. 超宽加速电压范围：100eV 到 10kV，不同加速电压下，离子束束斑均保持细优束斑状态

4. 每支离子枪均配备对应法拉第杯进行离子束直接探测

5. 采用可调节10英寸触屏控制系统，人机界面友好，操作简洁

6. 自动独立气源控制

7. 减薄角度范围：-15°~+10°连续可调

8. 样品载台X-Y可调，可根据需要调整样品减薄位置

9. 具备原位实时观察及记录减薄过程功能

10 .样品可360°连续旋转或摇摆，离子束自动避让样品夹

11. 可通过时间、温度以及透光性自动停止

12. 可选液氮冷台配置，去除热效应对样品的损伤

13. 可选真空或惰性气体转移装置，隔绝样品与水氧接触