一、产品概述：

扫描声学显微镜（SAM）是一种高分辨率的成像设备，用于分析材料内部结构和缺陷。该仪器利用超声波探测技术，可以获得微米别的分辨率，广泛应用于材料科学、半导体和生物医学等域。

二、设备用途/原理：

·设备用途

扫描声学显微镜主要用于检测和分析材料内部的缺陷、应力和微观结构。工程师和研究人员可以利用该仪器进行材料的质量控制、故障分析和新材料的研发，以确保材料在实际应用中的可靠性和性能。

·工作原理

扫描声学显微镜通过发射超声波信号到样品中，并接收反射回来的信号来工作。仪器内部使用高灵敏度的探测器和信号处理技术，将反射信号转换为图像，显示样品内部的结构和缺陷。用户可以调整扫描参数，以获得不同深度和细节的成像，从而进行深入的材料分析和研究。

三、主要技术指标：

1. 为了识别沿封装微电子应用中小和细微的缺陷，ECHO VS包括标准功能，如用于佳声耦合的热水、用于有效捕获有用数据的灵活TAMI、用于提高信噪比的波形平均、ICEBERG用于提高图像质量，MFCI用于在苛刻的应用中增强图像质量。ECHO VS是用于成型倒装芯片、CSP、MCM、叠片、MUF和其他先进封装技术的终超声波无损检测设备

2. 检测薄至0.01μm的空气缺陷，并在空间上解决低至5μm的缺陷