泵送选项以及它们如何影响您的吞吐量

• 为了大限度地提高吞吐量，应考虑右图所示的抽空时间。

• 根据右图，可以总结出，升到更大的高真空阀门可能会导致每个班次额外生产两批晶圆（使用所示示例）。

• 请参阅表格，其中显示了提供的所有泵送配置以及典型的泵送量和基本压力。
  
  

内部安装阴

• 内部安装可实现可调节的源-基板距离，是均匀性和速率优化的理想选择。

外部安装阴

• 外部安装的阴便于访问公用设施，并能够硬安装射频调谐器以增强电源集成。此选项具有固定的源-基板投射距离。

铰链式磁控管门

• 可以轻松访问溅射源以进行靶材更改、调整源与衬底的距离以及源维护。

标准和高强度磁铁阵列

• 标准强度：目标利用率高，针对非磁性材料
  （例如金属和粘结陶瓷）进行了优化

• 高强度：针对高度矫顽力的目标材料
  进行了优化，例如镍、铁、钴、坡莫合金

直接和间接冷却设计

• 直冷：水冷直接位于目标的背面。
  当需要高吞吐量或溅射导热性差的材料时
  优点：更高的功率密度能力，可提高溅射率！

• 间接冷却：水冷通过固体膜或背板与目标接触。
  当高吞吐量不重要时。
  优点：目标水和冷却水之间有坚固的屏障，减少了直接泄漏到腔室的机会。