有机薄膜沉积和金属化系统SPECTROS™ 150

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型号：SPECTROS™ 150
品牌： $brandModel.Title
所属地区：美洲
原产地：国外-国外
产品摘要：Kurt J. Lesker Company 的 SPECTROS™ 150 是基于主力 SPECTROS 平台的下一代薄膜沉积系统。SPECTROS平台在全球拥有100多台设备，是一种成

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更新时间：2026/9/8 1:56:36关注度：578

关键词标签：有机薄膜沉积和金属化系统,KURT.J.LESKER

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Kurt J. Lesker Company 的 SPECTROS™ 150 是基于主力 SPECTROS 平台的下一代薄膜沉积系统。SPECTROS平台在全球拥有100多台设备，是一种成熟、坚固和多功能的设计。SPECTROS建立在原始设计的成功基础上，改进了系统基础压力和抽空时间。腔室设计、具有高编程功能的行业佳软件控制系统、实时配方线程操作以及用于优化薄膜性能的众多功能，这些都是这种创新的设计提供的一些关键优势。

SPECTROS 150与以下技术兼容：

1cc 或 10cc LTE 信号源（除热源外，多10个信号源）
4 英寸热源（除 LTE 源外，多4个源）
TORUS 磁控溅射源（多8个2"或3"源）
电子束蒸发源（4口袋8cc，8口袋12cc，6口袋20cc）
上述技术的组合也可用
可根据要求提供定制配置

SPECTROS™ 150 的工艺室提供两种类型的高真空泵：标配 Pfeiffer 790 L/s 涡轮分子泵或可选的 Brooks CTI-8F 1500 L/s 低温泵。SPECTROS 150的任何沉积配置都可以选择这两种泵。Pfeiffer 790 L/s 是总体成本效益、高质量泵送的理想选择，尤其适用于低温和热蒸发。Brook CTI-8F 可用于需要尽可能低真空度的应用，特别是热蒸发和电子束应用。