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深圳市矢量科学仪器有限公司

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光谱椭偏仪涉及哪些领域的行业应用?

发布时间:2024/9/4 13:35:47关注度:2409

光谱椭偏仪涉及哪些领域的行业应用?

http://www.app17.com/c166351/products/d13687611.html
UNECS系列是可以高速、高精度测量薄膜膜厚和折射率的分光椭偏仪。采用的测量方式,实现了高速测量和机体的小型化。

我们的产品阵容包括便携式,自动式和对应真空环境的设备内置式类型。

特点

  • 高速測定:
    快照方法可实现高达20 ms的高速测量。

  • 适用于可见光谱:
    波长范围可选标准类型(530nm至750nm)和可见光谱类型(380nm至760nm)。

  • 紧凑型传感器单元:
    光发射和接收的传感器仅由没有旋转机构的光学部件组成,因此非常轻且紧凑,并且不需要定期维护。

  • 丰富的产品阵容:
    产品阵容应用广泛,包括如便携类型,手动/自动平台类型,大型基板类型,以及支持大气/真空环境的内置类型。


用途

透明或半透明薄膜(氧化膜,氮化膜,抗蚀剂,ITO等)的膜厚,折射率,消光系数的测量


波长范围530~750nm、380~760nm(选择)
点径Φ1mm、Φ0.3mm(选择)
入射角度70o固定
膜厚再现性1σ = 0.1nm
膜厚范围1nm~2μm
测量时间受光:20ms ~ 3000ms 演算:300ms
平台Φ150mm手动式R-θ平台
控制PC笔记本类型(带操作/分析软件)
机器构成测量本体(手动平台、控制器BOX付き)
光源单元、操作PC(笔记本型)、使用说明书(CD)

原创作者:深圳市矢量科学仪器有限公司




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