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发布时间:2024/9/4 13:35:47关注度:2409
光谱椭偏仪涉及哪些领域的行业应用?
http://www.app17.com/c166351/products/d13687611.html
UNECS系列是可以高速、高精度测量薄膜膜厚和折射率的分光椭偏仪。采用的测量方式,实现了高速测量和机体的小型化。
我们的产品阵容包括便携式,自动式和对应真空环境的设备内置式类型。
高速測定:
快照方法可实现高达20 ms的高速测量。
适用于可见光谱:
波长范围可选标准类型(530nm至750nm)和可见光谱类型(380nm至760nm)。
紧凑型传感器单元:
光发射和接收的传感器仅由没有旋转机构的光学部件组成,因此非常轻且紧凑,并且不需要定期维护。
丰富的产品阵容:
产品阵容应用广泛,包括如便携类型,手动/自动平台类型,大型基板类型,以及支持大气/真空环境的内置类型。
用途
透明或半透明薄膜(氧化膜,氮化膜,抗蚀剂,ITO等)的膜厚,折射率,消光系数的测量
| 波长范围 | 530~750nm、380~760nm(选择) | |
| 点径 | Φ1mm、Φ0.3mm(选择) | |
| 入射角度 | 70o固定 | |
| 膜厚再现性 | 1σ = 0.1nm | |
| 膜厚范围 | 1nm~2μm | |
| 测量时间 | 受光:20ms ~ 3000ms 演算:300ms | |
| 平台 | Φ150mm手动式R-θ平台 | |
| 控制PC | 笔记本类型(带操作/分析软件) | |
| 机器构成 | 测量本体(手动平台、控制器BOX付き) 光源单元、操作PC(笔记本型)、使用说明书(CD) | |
原创作者:深圳市矢量科学仪器有限公司
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