四探针电阻率测试仪注意事项有哪些？

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产品介绍

1. 应用：半导体材料、太阳能电池材料(硅、多晶硅、碳化硅等)，新材料、功能材料(碳纳米管、DLC、石墨烯、Ag纳米线等)、导电薄膜(金属、离子等)，扩散层，硅相关外延材料，离子注入样品

2. 样品尺寸：基于所选择的平台而定，圆形样品大支持300mm(12 inch)，或方形大尺寸730x920mm

3. 测量范围：

V/I 电阻: 1.0m - 3.0M Ω

方阻: 5.0m - 10.0M Ω/sq

电阻率: 1.0μ - 300.0k Ω.cm

深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的国家高新技术企业。

致力于提供半导体制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。

公司已授实用新型权利 29 项，软件著作权 14 项，是国家高新技术企业、创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。

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