离子束刻蚀系统IBE
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产品介绍

1. 离子束刻蚀的灵活性、均匀性俱佳且应用范围广。我们的设备具有灵活的硬件选项，包括直开式、单衬底传送模式和盒式对盒式模式。系统配置与实际应用紧密协调，以确保获得速率更快且重复性更好的工艺结果

2. 应用方向：

磁阻式随机存取存储器（MRAM）

介电薄膜

III-V族光电子材料刻蚀

自旋电子学

金属电和轨道

超导体

激光端面镀膜

高反射（HR）膜

防反射（AR）膜

环形激光陀螺反射镜

X射线光学系统

红外（IR）传感器

II-VI族材料

通信滤波器

深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的国家高新技术企业。

致力于提供半导体制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。

公司已授实用新型权利 29 项，软件著作权 14 项，是国家高新技术企业、创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。

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