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深圳市矢量科学仪器有限公司

第5年

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查找:CIF等离子去胶机资料中心

发布时间:2023/9/8 11:46:27关注度:2703

CIF等离子去胶机
http://www.app17.com/c166351/products/d12391019.html

一、产品介绍
CIF推出等离子去胶机,采用电感耦合各向同性(各个方向)等离子激发方式,适用于所有的基材及复杂的几何构形都可以进行等离子体去胶。其外观美学设计,结构紧凑,漂亮大气,优化的腔体结构及合理的结构设计,使得处理样品量更大,适用范围更广,性能更稳定,操作更简便,性价比更高,使用成本更低,实用性更强,更容易维护。特别适合于大学,科研院所和微电子、半导体企业实验室,对电路板、外延片、芯片、环氧基树脂、MEMS制造过程中牺牲层,干刻或湿刻处理或后,对基材进行聚合物剥离、金属剥离、掩膜材料等光刻胶去除,以及晶圆表面预处理等。
二、产品特点

三、技术参数


型号

SPB5

SPB5plus

舱体尺寸

D200xΦ155mm

D200xΦ155mm

舱体容积

3.8L

3.8L

射频电源

40KHz

13.56MHz

匹配器

自动匹配

自动匹配

激发方式

电感耦合

电感耦合

射频功率

10-300W可调

10-300W可调(可选10-600W)

大处理尺寸

Φ150m

Φ150m

气体控制

质量流量计(MFC)(标配单路,可选双路)流量范围0-500SCCM(可调)

工艺气体

Ar、N₂、O₂、H₂、CF4、CF4+ H2、CHF3或其他混合气体等(可选)

时间设定

1-99分59

真空泵

抽速约8m3/h

气体稳定时间

1分钟

限真空

≤1Pa

电 源

AC220V 50-60Hz,所有配线符合《低压配电设计规范 GB50054-95》、《低压配电装置及线路设计规范》等国标标准相关规定。


原创作者:深圳市矢量科学仪器有限公司




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