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发布时间:2023/9/8 11:46:27关注度:2703
CIF等离子去胶机
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一、产品介绍
CIF推出等离子去胶机,采用电感耦合各向同性(各个方向)等离子激发方式,适用于所有的基材及复杂的几何构形都可以进行等离子体去胶。其外观美学设计,结构紧凑,漂亮大气,优化的腔体结构及合理的结构设计,使得处理样品量更大,适用范围更广,性能更稳定,操作更简便,性价比更高,使用成本更低,实用性更强,更容易维护。特别适合于大学,科研院所和微电子、半导体企业实验室,对电路板、外延片、芯片、环氧基树脂、MEMS制造过程中牺牲层,干刻或湿刻处理或后,对基材进行聚合物剥离、金属剥离、掩膜材料等光刻胶去除,以及晶圆表面预处理等。
二、产品特点
三、技术参数
型号 | SPB5 | SPB5plus |
舱体尺寸 | D200xΦ155mm | D200xΦ155mm |
舱体容积 | 3.8L | 3.8L |
射频电源 | 40KHz | 13.56MHz |
匹配器 | 自动匹配 | 自动匹配 |
激发方式 | 电感耦合 | 电感耦合 |
射频功率 | 10-300W可调 | 10-300W可调(可选10-600W) |
大处理尺寸 | Φ150m | Φ150m |
气体控制 | 质量流量计(MFC)(标配单路,可选双路)流量范围0-500SCCM(可调) | |
工艺气体 | Ar、N₂、O₂、H₂、CF4、CF4+ H2、CHF3或其他混合气体等(可选) | |
时间设定 | 1-99分59 | |
真空泵 | 抽速约8m3/h | |
气体稳定时间 | 1分钟 | |
限真空 | ≤1Pa | |
电 源 | AC220V 50-60Hz,所有配线符合《低压配电设计规范 GB50054-95》、《低压配电装置及线路设计规范》等国标标准相关规定。 | |
原创作者:深圳市矢量科学仪器有限公司
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