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连续化学采样检测系统CSI
产品介绍:化学分析实验室采用连续化学采样检测系统(csi)监测半导体工艺中的化学品,以检测微量金属杂质。该系统使用电感耦合等离子体质谱仪(icp-ms)进行24/7的连续监测,确保化学品在运输和更换过滤器过程中不受污染。在线接口软件(ois)控制阀门、自动进样器和icp-ms,实现自动校准和质量控制。该系统能够生成浓度和计数趋势图,并具备自动重新分析功能。
价 格:¥电议型 号:产 地:日本
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连续化学品检测系统 CSI
产品介绍:csi 连续化学品检测系统:化学敏感仪器监测半导体晶圆厂使用的化学物质,通过连续化学采样检测(csi)系统监测微量金属杂质,以避免器件故障。系统采用电感耦合等离子体质谱仪(icp-ms)对化学品进行24/7的连续监测,包括液相(lt)和气溶胶相(at)两种样品运输方式。l
价 格:¥电议型 号:产 地:日本
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金属标准气雾剂生成系统 MSAG
产品介绍:msag金属标准气雾剂生成系统,是一种用于纳米颗粒分析及直接气体分析的重要工具,尤其适用于电感耦合等离子体质谱法(icp-ms)。该设备能够以0至3μl/min的速度将混合金属标准溶液引入雾化器,确保了高灵敏度和准确性。通过msgg装置监测icp-ms灵敏度变化,并利用钼气态标准作为内标。
价 格:¥电议型 号:产 地:日本
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激光剥蚀多通道原子吸收光谱系统LAGM
产品介绍:lagm激光剥蚀多通道原子吸收光谱系统采用飞秒激光和电流计镜,可精确烧蚀 300 毫米晶圆样品,无需小型封闭腔室。系统配备双注射器模型 msag_ds,支持标准加入法进行定量分析,具备点和面倾斜度、轮廓及杂质分析功能。系统能全自动操作,支持多种分析模式如全扫描、斑点、直线、块模式及深度剖面模式,适用于晶圆和非晶圆样品的全 面分析。
价 格:¥电议型 号:产 地:日本
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硅片金属杂质分析系统 Expert
产品介绍:硅片金属杂质分析系统 expert,全自动汽车扫描系统与真空二次离子质谱法(vpd-icp-ms)结合,为硅片金属杂质分析提供了高效的解决方案。系统具备多个型号,包括适用于实验室和工厂自动化的expert_lab、expert_ps和expert_fab。这些系统支持多种扫描模式,如全扫描、径向扫描和倾斜扫描,可实现从大容量蚀刻到深度轮廓测量的全 面分析。
价 格:¥电议型 号:产 地:日本
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WaferX 310Rigaku X射线荧光分析仪
产品介绍:日本rigaku x射线荧光分析仪 waferx 310, 通过x射线以大角度照射在镀膜的硅片样品上,产生镀膜 样品的相应特征x射线的方法,进而分析测量硅片样品的 镀膜厚度。
价 格:¥电议型 号:WaferX 310产 地:日本
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SI 500德国Sentech ICP-RIE等离子蚀刻机- SI 500
产品介绍:德国sentech icp-rie等离子蚀刻机- si 500,8英寸的晶圆
价 格:¥电议型 号:SI 500产 地:中国大陆
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SI 500-300德国 Sentech 多晶圆等离子刻蚀机
产品介绍:icp-rie plasma etcher - si 500-300 multiwafer si 500-300多晶圆等离子刻蚀机 300 mm / 400 mm 载板,用于多片晶圆
价 格:¥电议型 号:SI 500-300产 地:欧洲
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SI 500 RIE德国Sentech 等离子刻蚀机
产品介绍:德国sentech 等离子刻蚀机 si 500 rie,rie 蚀刻机,最大 8 英寸晶圆, 带可选的 icp 源扩展
价 格:¥电议型 号:SI 500 RIE产 地:欧洲
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SI 500 C德国Sentech 低温等离子蚀刻机
产品介绍:德国sentech 低温等离子蚀刻机 si 500 c,最大 8 英寸晶圆,-150°c...+150°c
价 格:¥电议型 号:SI 500 C产 地:欧洲
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Etchlab 200德国Sentech 反应离子刻蚀机
产品介绍:德国sentech 反应离子刻蚀机 etchlab 200,最大 8 英寸晶圆,硅及相关材料的蚀刻
价 格:¥电议型 号:Etchlab 200产 地:欧洲
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Etchlab 380德国Sentech 多晶圆等离子体反应刻蚀机
产品介绍:德国sentech 多晶圆等离子体反应刻蚀机 etchlab 380,最大 300 mm 晶圆,用于多个晶圆的 380 mm 载体
价 格:¥电议型 号:Etchlab 380产 地:欧洲
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Depolab 200德国Sentech PECVD沉积设备
产品介绍:德国sentech pecvd沉积设备 depolab 200, 最大 8 英寸晶圆,高达 400°c 的基板温度,低频混合,300-500 khz 可选
价 格:¥电议型 号:Depolab 200产 地:欧洲
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SI 500 PPD德国Sentech PECVD沉积设备
产品介绍:德国sentech pecvd沉积设备 si 500 ppd,最大 8 英寸晶圆, 高达 350°c 的基板温度, 低频混合,300-500 khz可选
价 格:¥电议型 号:SI 500 PPD产 地:欧洲
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SI 500 D德国Sentech PECVD沉积设备
产品介绍:德国sentech pecvd沉积设备 si 500 d,最大 8 英寸晶圆,rt....300/400°c 基板温度
价 格:¥电议型 号:SI 500 D产 地:欧洲
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SI ALD / SI PEALD德国Sentech 原子层沉积设备
产品介绍:德国sentech 原子层沉积设备 si adl ll/ si peald ll,在 8 英寸晶圆和玻璃基板上实现高度均匀的薄膜厚度, 在具有高纵横比的模型上进行 3d保形沉积, 400/500°c 基板温度, 最大 8 英寸晶圆.
价 格:¥电议型 号:SI ALD / SI PEALD产 地:欧洲
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SI ADL LL/ SI PEALD LL德国Sentech 原子层沉积设备
产品介绍:德国sentech 原子层沉积设备 si adl ll/ si peald ll,在 8 英寸晶圆和玻璃基板上实现高度均匀的薄膜厚度, 在具有高纵横比的模型上进行 3d保形沉积, 400/500°c 基板温度, 最大 8 英寸晶圆.
价 格:¥电议型 号: SI ADL LL/ SI PEALD LL产 地:欧洲
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德国Sentech多腔体沉积镀膜刻蚀设备
产品介绍:德国sentech多腔体沉积镀膜刻蚀设备,集群配置,所有等离子工具都可以排列在一个集群工具中。提供用于研发和高吞吐量生产的集群。通过单个晶圆装载锁和/或晶圆盒站装载晶圆。
价 格:¥电议型 号:产 地:欧洲
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SLI 670德国Sentech激光干涉仪
产品介绍:德国sentech激光干涉仪 sli 670,670 nm 波长,光斑尺寸 100 μm,电动载物台,反射率和干涉模式
价 格:¥电议型 号: SLI 670产 地:欧洲








