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深圳市蓝星宇电子科技有限公司 主营产品：光刻机,真空镀膜机,离子刻蚀机,,半导体辅助材料,半导体微纳检测仪器,太阳能吸收率发射击队率检测仪,,实验检测仪器设备,紫外线UV光清洗机UV灯.

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光刻机&3D打印机

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半导体微纳检测仪器

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德国Iplas

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英国HHV

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美国Nano-master

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美国TED Pella

荷兰 TSST

美国Denton Vacuum

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法国Plassys

英国Oxford Vacuum

日立Hitachi

美国Neocera

德国MBE-Komponenten 分子束外延系统

英国Quorum涡轮分子泵抽真空镀膜仪

Syskey 镀膜系统

  • 德国Eberl 多波束电子束 OCTOPLUS 1000

    德国eberl 多波束电子束 octoplus 1000, 用于大 12 英寸基底 sige 外延生长的 mbe 系统

    价 格：￥电议型 号：产 地：欧洲

  • OCTOPLUS 1000 多波束电子束

    德国 eberl 的多波束电子束octoplus 1000系统，专为最大12英寸sige外延生长设计，适用于mbe（分子束外延）工艺。该系统提供高效、高精度的沉积技术，确保高质量薄膜的生长，广泛应用于半导体制造领域。

    价 格：￥电议型 号：产 地：欧洲

  • Appsilon MPCVD

    appsilon荷兰 mpcvd

    价 格：￥电议型 号：产 地：欧洲

  • CYRANNUS®微波等离子化学气相沉积系统

    德国iplas mpcvd cyrannus® 利技术微波等离子化学气相沉积系统，广泛应用于第四代半导体，射频器件，散热器件，光学窗口等高科技令域，晶圆生长金刚石膜，被誉为半导体终材料。

    价 格：￥ 4980000型 号：CYRANNUS®产 地：欧洲

  • NRT-3500, NRT-4000美NANO-MASTER RTP快速退火炉

    美nano-master rtp快速退火炉nrt-3500 紧凑型独立式全自动rtp系统nrt-4000 独立式全自动rtp系统nrt-4000 独立式大批量rtp系统nir-4000 独立式 ibe / rie 双刻蚀系统nie-3000 台式 ibe 刻蚀系统nsc-3000可支持多4个靶的dc溅射或rf溅射

    价 格：￥电议型 号：NRT-3500, NRT-4000产 地：美洲

  • SWC-3000，SWC-4000， SWC-5000美NANO-MASTER SWC单晶圆清洗系统

    美nano-master swc单晶圆清洗系统swc-3000 台式单晶圆/掩膜版清洗系统swc-4000 立柜式单晶圆/掩膜版清洗系统swc-5000 带25片cassette 机械手自动清洗nrt-4000 独

    价 格：￥电议型 号：SWC-3000，SWC-4000， SWC-5000产 地：美洲

  • LSC-4000美Nano-master 大基片清洗机

    美nano-master 大基片清洗机 large substrate cleaning :lsc-4000 是一款独立式清洗机，使用计算机控制，大可支持外径21”的基片。

    价 格：￥电议型 号：LSC-4000产 地：美洲

  • Q150T PLUS英国Quorum镀金镀碳一体机

    英国quorum q150t plus 镀金镀碳一体机，是一款优化设计的带涡轮分子泵抽真空的镀膜设备，真空度可达5x10-5mbar。可以溅射具有超细成膜颗粒的易氧化金属，适用于高分辨率成像。同样地，低散射可得到均匀而致密的无定形碳膜。

    价 格：￥电议型 号：Q150T PLUS产 地：欧洲

  • Cyrannus 1-6" 2.45GHz德国iplas微波等离子化学气相沉积系统

    德国iplas微波等离子化学气相沉积 cyrannus 1-6" 2.45ghz系统，德国 iplas公司的独 家 利多天线耦合微波等离子技术（cyrannus®），可在反应腔中实现高的 sp3 键转化率，使得腔体中充满过饱和原子氢和含碳基团，从而有效地提高了沉积速率并且使得金刚石的沉积质量得到改善。

    价 格：￥ 4980000型 号：Cyrannus 1-6" 2.45GHz产 地：欧洲

  • Cyrannus 915MHz德国iplas微波等离子化学气相沉积系统

    德国iplas微波等离子化学气相沉积 iplas mpcvd 915mhz系统,德国 iplas公司的独家利多天线耦合微波等离子技术（cyrannus®），可在反应腔中实现高的 sp3 键转化率，使得腔体中充满过饱和原子氢和含碳基团，从而有效地提高了沉积速率并且使得金刚石的沉积质量得到改善，这正是获取优质金刚石的技术基础。

    价 格：￥ 4980000型 号：Cyrannus 915MHz产 地：欧洲

  • NTE-4000,NTE-3500,NTE-3000,NTE-1000美Nano-master热蒸镀系统

    美nano-master热蒸镀系统：nte-4000 独立式电子束蒸镀，nte-3500 紧凑型独立式热蒸镀，nte-3000 双蒸源台式热蒸镀系统，nte-1000 简便型热蒸镀。热蒸镀系统可以跟nano-master那诺-马斯特的其它任意真空系统组成双系统。

    价 格：￥电议型 号：NTE-4000,NTE-3500,NTE-3000,NTE-1000产 地：美洲

  • NSC-4000,NSC-3500,NSC-3000,NSC-1000美Nano-master磁控溅射系统

    美nano-master磁控溅射系统：nsc-4000独立式磁控溅射系统，可支持共溅射等能力的扩展nsc-3500紧凑型独立式热蒸镀，可以支持金属材料的dc溅射，介质材料的rf溅射，以及脉冲dc溅射等应用。nsc-3000可支持多4个靶的dc溅射或rf溅射nsc-1000单金靶靶材的台式溅射系统，不但可用于电镜制备，也可以用于常规的金属溅射

    价 格：￥电议型 号：NSC-4000,NSC-3500,NSC-3000,NSC-1000产 地：美洲

  • NPE-4000NANO-MASTER的等离子增强化学气相沉积系统PECVD系统

    nano-master的等离子增强化学气相沉积系统pecvd系统npe-4000,可以制造高质量的氧化硅、氮化硅、碳纳米管、金刚石和碳化硅等薄膜。基板可以容纳8英寸晶圆，可通过射频、脉冲直流或者直流电源提供偏压，可通过热电阻或者红外灯加热到800°c。ns

    价 格：￥电议型 号：NPE-4000产 地：中国大陆

  • NEE-4000美NANO-MASTER电子束蒸镀系统

    nano-master电子束蒸镀系统 nee-4000，可通过样片掩膜实现组合蒸镀，并可通过电脑控制单个电子束蒸镀的蒸镀速率。系统可支持共蒸镀功能。能够升支持自动上下片，以及手动或自动翻转样片实现双面镀膜。该系列的e-beam电子束蒸镀系统，也可以跟磁控溅射

    价 格：￥电议型 号：NEE-4000产 地：美洲

  • NIE-4000,NIE-3500,NIR-4000,NIE-3000美NANO-MASTER IBM离子铣/IBE离子束刻蚀系统

    ibm离子铣/ibe离子束刻蚀系统：nie-4000 独立式 ibe 刻蚀系统nie-3500 紧凑型独立式 ibe 刻蚀系统nir-4000 独立式 ibe / rie 双刻蚀系统nie-3000 台式 ibe 刻蚀系统nsc-3000可支持多4个靶的dc溅射或rf溅射

    价 格：￥电议型 号：NIE-4000,NIE-3500,NIR-4000,NIE-3000产 地：美洲

  • NIE-4000,NIE-3500,NIR-4000,NIE-3000美Nano-master等离子清洗/灰化系统

    nano-master等离子清洗和灰化系统设计用于广泛的需求，从批处理和单晶圆的光刻胶剥离到晶圆表面改性都可以涵盖。这些系统通过计算机控制，可以配套不同的等离子源，加热和不加热的基片夹具，以及独一无二的从等离子刻蚀切换到rie刻蚀模式的能力。$r

    价 格：￥电议型 号：NIE-4000,NIE-3500,NIR-4000,NIE-3000产 地：美洲

  • NLD-4000,NLD-3500,NLD-3000美Nano-master ALD/PEALD原子层沉积系统

    美nano-master ald/peald原子层沉积：nld-4000 独立式ald系统nld-3500 紧凑型独立式ald系统nld-3000 台式ald系统

    价 格：￥电议型 号：NLD-4000,NLD-3500,NLD-3000产 地：美洲

  • NRR-4000, NRE-4000, NRE-3000, NDR-4000美Nano-master RIE反应离子刻蚀系统

    美nano-master rie反应离子刻蚀系统nrr-4000 独立式双rie或icp刻蚀系统nre-4000 独立式rie或icp系统nre-3000 台式rie系统ndr-4000 深硅刻蚀系统

    价 格：￥电议型 号：NRR-4000, NRE-4000, NRE-3000, NDR-4000产 地：美洲

  • NNDT-4000美Nano-master 热真空太空模拟系统

    美nano-master 热真空太空模拟系统 ndt-4000,是一款器件测试系统，俗称“热真空系统”,可以用于真空和可控的均匀加热以及冷却循环条件下的器件或样片测试。

    价 格：￥电议型 号：NNDT-4000产 地：美洲

  • Pioneer 180-2-PLD美国Neocera 脉冲激光沉积系统

    美国neocera 脉冲激光沉积系统pioneer 180-2-pld,一种用途广泛的、用于薄膜沉积以及纳米结构和纳米粒子合成的方法

    价 格：￥电议型 号：Pioneer 180-2-PLD产 地：美洲

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