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深圳市蓝星宇电子科技有限公司 主营产品:光刻机,真空镀膜机,离子刻蚀机,,半导体辅助材料,半导体微纳检测仪器,太阳能吸收率发射击队率检测仪,,实验检测仪器设备,紫外线UV光清洗机UV灯.

第8年

当前位置: 阿仪网 > 半导体行业专用仪器设备 > 湿法工艺设备 > 湿法腐蚀/刻蚀设备 > 深圳市蓝星宇电子科技有限公司 > 产品展示 > 离子刻蚀与沉积 > 德国Sentech > 德国Sentech 多晶圆等离子体反应刻蚀机Etchlab 380

德国Sentech 多晶圆等离子体反应刻蚀机Etchlab 380

价格:¥电议

品牌名称:$brandModel.Title型号:Etchlab 380原产地:欧洲 更新时间:2026/10/19 9:27:35

产品摘要:德国Sentech 多晶圆等离子体反应刻蚀机 Etchlab 380,最大 300 mm 晶圆,用于多个晶圆的 380 mm 载体

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产品完善度: 访问次数:750

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公司网站:http://www.lxyee.net

详细内容


德国Sentech 多晶圆等离子体反应刻蚀机 Etchlab 380



主要特点

·打开盖子

·300 mm 晶圆

·380 毫米托架

·多片加工


应用特点

·硅及相关材料的蚀刻

·金属溅射

·亚微米蚀刻


技术特点

·600 瓦/1100 瓦,13.56 MHz

·360 升/秒涡轮分子泵

·旋转前级泵

·打开盖子

·多达 12 条燃气管线

·最大 300 mm 晶圆

·用于多个晶圆的 380 mm 载体

·设计紧凑,占地面积小


热门标签:德国Sentech,,多晶圆等离子体反应刻蚀机,Etchlab,380,,多晶圆等离子体反应刻蚀机,Etchlab,380

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