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深圳市蓝星宇电子科技有限公司 主营产品:光刻机,真空镀膜机,离子刻蚀机,,半导体辅助材料,半导体微纳检测仪器,太阳能吸收率发射击队率检测仪,,实验检测仪器设备,紫外线UV光清洗机UV灯.

第8年

当前位置: 阿仪网 > 半导体行业专用仪器设备 > 湿法工艺设备 > 湿法腐蚀/刻蚀设备 > 深圳市蓝星宇电子科技有限公司 > 产品展示 > 离子刻蚀与沉积 > 德国Sentech > 德国Sentech PECVD沉积设备SI 500 PPD

德国Sentech PECVD沉积设备SI 500 PPD

价格:¥电议

品牌名称:$brandModel.Title型号:SI 500 PPD原产地:欧洲 更新时间:2026/10/19 9:27:35

产品摘要:德国Sentech PECVD沉积设备 SI 500 PPD,最大 8 英寸晶圆, 高达 350°C 的基板温度, 低频混合,300-500 kHz可选

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产品完善度: 访问次数:1016

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半导体微纳检测仪器

实验检测仪器

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手机网站:http://wap.app17.com/c143096/

公司网站:http://www.lxyee.net

详细内容

德国Sentech PECVD沉积设备 SI 500 PPD


主要特点

❑ 负载锁

❑ 最大 8 英寸晶圆

❑ 低频混合

❑ 集成气箱

应用特点

· 二氧化硅、SiNx、TEOS

· a-Si,掺杂薄膜

· 碳化硅

技术特点

❑ 600 瓦,13.56 MHz

❑ 高达 350°C 的基板温度

❑ 560 m3/h 干泵

❑ 360 升/秒涡轮分子泵

❑ 负载锁

❑ 低频混合,300-500 kHz可选

❑ 集成气箱

❑ 6-12 根燃气管线

❑ 最大 8 英寸晶圆


热门标签:德国Sentech,PECVD沉积设备,SI,500,PPD,,PECVD沉积设备

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