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德国Eberl 多波束电子束 OCTOPLUS 1000
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品牌名称：$brandModel.Title型号：原产地：欧洲 更新时间：2026/10/19 9:27:39
产品摘要：德国Eberl 多波束电子束 OCTOPLUS 1000, 用于大 12 英寸基底 SiGe 外延生长的 MBE 系统
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德国Eberl 多波束电子束 OCTOPLUS 1000, 用于大 12 英寸基底 SiGe 外延生长的 MBE 系统
OCTOPLUS 1000 允许在多片 3 或 4 英寸的晶圆或多片 6 英寸、8 英寸或 1 - 2 英寸的晶圆上进行分子束外延（MBE）生长。它具有 4 个电子束蒸发器法兰；4 个 DN 150CF/100 CF 的高容量扩散室、带阀门的裂解室和其他源。根据应用，晶圆操纵器适用于石墨、碳化硅、独立式钨或钽加热器，带有聚硼氮（PBN）扩散板。OCTOPLUS 1000 分子束外延系统.它提供了高度可重复的样品质量，经过现场验证，非常适合用于 SiGe 和其他化合物半导体层的生长，适用于半导体器件的生产应用。
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OCTOPLUS 1000 允许在多片 3 或 4 英寸的晶圆或多片 6 英寸、8 英寸或 1 - 2 英寸的晶圆上进行分子束外延（MBE）生长。它具有 4 个电子束蒸发器法兰；4 个 DN 150CF/100 CF 的高容量扩散室、带阀门的裂解室和其他源。根据应用，晶圆操纵器适用于石墨、碳化硅、独立式钨或钽加热器，带有聚硼氮（PBN）扩散板。OCTOPLUS 1000 分子束外延系统.它提供了高度可重复的样品质量，经过现场验证，非常适合用于 SiGe 和其他化合物半导体层的生长，适用于半导体器件的生产应用。
热门标签：德国Eberl,,多波束电子束,OCTOPLUS,1000
