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紫外单面光刻机URE-2000B

价格：￥电议

品牌名称：$brandModel.Title型号：URE-2000B原产地：中国大陆更新时间：2026/10/19 9:26:20

产品摘要：URE-2000B 型紫外单面光刻机，中科院设计生产，曝光面积：100mmX100mm

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URE-2000B 型紫外单面光刻机

1．技术参数

 曝光面积：100mmX100mm
 曝光波长：365nm
 分辨力：0.8m（胶厚 2m 的正胶）
 对准精度：0.6m  掩模样片整体运动范围：X：15mm;Y:15mm
 掩模尺寸：2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸
 样片尺寸：直径 15mm－－ 100mm（各种不规则片）
厚度 0.1mm－－6mm(可扩展为 15mm)
 曝光方式：定时（倒计时方式）和定剂量
 具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光，以及接近式曝光四种功能
 照明不均匀性： 2.5%（100mm 范围）
 双目双视场对准显微镜：既可通过目镜目视对准，也可通过 CCD+显示器对准，光学合像，光学大倍数 400 倍，光学+电子放大 800 倍物镜 3 对：4 倍、10 倍、20 倍；目镜 3 对：10 倍、16 倍、20 倍  调平接触压力通过传感器保证重复
 数字设定对准间隙和曝光间隙
 具备压印模块接口，也具备接近模块接口

 掩模相对于样片运动行程： X: 5mm; Y: 5mm; : 6 度  大焦厚：600m（SU8 胶，用户提供检测条件）
 光源平行度：1.2º
 曝光能量密度：>20mW/cm

2  汞灯功率：1000W（直流，进口） 2．外形尺寸：1400mm（长）1200mm(宽) 1950mm（高）

3．配置

（1）曝光头
 冷光椭球镜
 XYZ 汞灯调节台
 冷却风扇
 1000W 进口直流高压汞灯(德国欧司朗)  光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜 1、准直镜镜 2、蝇眼透镜组（109 个透镜）、i 线滤光片、场镜、冷光反射镜 1、反射镜 2

（2）对准工件台
 掩模样片整体运动台
 掩模样片相对运动台
 转动台
 样片调平机构,自动完成
 样片自动调焦机构
 承片台 4 个（15mm 、2 英寸、3 英寸、4 英寸）
 掩模夹 4 个（2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸）
 基片抽拉式上下机构

（3）对准显微镜及 CCD 对准系统
 光源、电源
 双目双视场对准显微镜主体
 目镜 3 对（10 倍、16 倍、20 倍，共 6 个）
 物镜 3 对（4 倍、10 倍、20 倍，共 6 个）
 CCD
 21 英寸液晶显示器

（4）电控系统
 汞灯触发电源(1000W 直流汞灯)
 单片机控制系统
 控制柜桌

（5）气动系统
 气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等
 电磁阀驱动
 气动仪

（6）其他附件
 真空泵一台（无油泵）
 空压机一台（静音泵）
 管道

（7）技术资料
 使用维修说明书。
 显微镜使用说明书

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热门标签：URE-2000B,型紫外单面光刻机,,光刻机,紫外单面光刻机

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