紫外单面光刻机URE-2000/A12
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品牌名称：$brandModel.Title型号：URE-2000/A12原产地：中国大陆 更新时间：2026/10/19 9:26:20
产品摘要：URE-2000系列紫外单面光刻机，主要型号有：URE-2000A，URE-2000B，URE-20000/35,URE-20000/35A，URE-2000/25,URE-2000/17.由中国科学院制造生产。
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详细内容
URE-2000/A12 紫外单面光刻机
1、设备主要技术指标：
(1) 曝光面积： 300mm×300mm；
（2）分辨力：2m；
（3）对准精度：2m；
（4）掩模尺寸： 7 英寸、9 英寸、13 英寸；
（5）样片尺寸： 6 英寸、8 英寸、12 英寸；
（6）wafer chuck 表面：防止光反射涂层；
（7）掩模样片整体运动范围：X：10mm;Y:10mm；
（8）掩模相对于样片运动行程：X: 5mm; Y: 5mm; : 6°；
（9）汞灯功率：1000W（直流）；
（10）曝光能量密度：≥ 10mW/cm 2 ；
（11）曝光峰值波长:365nm；
（12）光源平行度：＜2°；
（13）曝光方式：定时（倒计时方式 0.1s—9999.9s）；
（14）光刻版夹具兼容性
2．技术主要组成部分
（1）曝光头系统包括:
冷光椭球镜；
德国 OSRAM1000W 直流高压汞灯；
XYZ 汞灯调节台；
光学系统（冷光紫外平面反射镜、快门、蝇眼透镜组、冷光紫外抛物面反射镜）；
冷却风扇。
（2）对准工件台系统包括:
掩模样片相对运动台；
（XY），转动台；
样片调平机构；
样片调焦机构；
承片台 3 个： 6 英寸、8 英寸、12 英寸；
掩模夹 3 个： 7 英寸、9 英寸、13 英寸。
（3）CCD 对准显微镜系统包括:
4 倍显微镜 2 只；
4 倍显微镜 2 只；
照明光源 2 套；
CCD 相机 2 只；
22 英寸液晶显示器。
（5）电控系统：
汞灯触发电源(1000W)；
单片机控制系统；
控制柜桌。
（6）气动系统系统包括:
气缸、电磁阀、减压阀、气动开关，电磁阀驱动，气动仪表等
（7）其他配置与附件
真空泵一台；
空压机一台；
配套气管 10m；
3.相关技术资料：
设备使用及维护说明书
出厂检验合格证。
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