紫外单面光刻机URE-2000/A8
价格：￥电议
品牌名称：$brandModel.Title型号：URE-2000/A8原产地：中国大陆 更新时间：2026/10/19 9:26:20
产品摘要：URE-2000/A8 紫外单面光刻机，中科院设计生产。曝光面积： 200mm×200mm
支付方式：
- 支付宝 微信 银行转账
产品完善度： 访问次数：2106
光刻机&3D打印机
- 德国Nnaoscrib
- 德国Heidelberg
- 德国Zeiss
- 德国Eulitha
- 瑞士Swisslitho AG
- 瑞典Mycronic
- 英国Durham
- 英国Nanobean
- NanoArch
- 德国ParcanNano 百及纳米针尖电子束光刻系统
- 德国SUSS
- 美国Sonoplot
- 美国Photonics
- 美国OAI
- China
- 俄罗斯Optosystem
- 美国Coherrent
- 中科院
- 纳米压印机
- Elinoix 电子束光刻机
- 尼康Nikon光刻机
- 奥地利EVG紫外纳米压印系统
- 激光微加工设备
- 瑞士 NnaoFrazor 光刻机
- 英国AML晶圆键合机
- 德国Raith 电子束光刻机
- 德 xiton 准分子激光器
镀膜沉积机
- 德国Iplas
- 德国Sentech
- 英国HHV
- 英国Oxford
- 英国Denton
- 芬兰Picosun
- 美国Nano-master
- 法国Iplas
- 美国TED Pella
- 荷兰 TSST
- 美国Denton Vacuum
- 美Arradiance
- 法国Plassys
- 英国Oxford Vacuum
- 日立Hitachi
- 美国Neocera
- 德国MBE-Komponenten 分子束外延系统
- 英国Quorum涡轮分子泵抽真空镀膜仪
- Syskey 镀膜系统
离子刻蚀与沉积
匀胶涂覆机
半导体辅助设备
半导体微纳检测仪器
- 德国Zeiss扫描电镜
- 德国KSI超声波扫描显微镜
- 德国Mecwins扫描式激光分析仪
- 美国Nanovea三维表面形貌仪
- 德国Sentech薄膜测量仪/光伏测量仪
- 德国Klocke Nanotech 3D纳米级三维测量仪
- 德国YXLON 高分辨率Ｘ射线检测设备
- 瑞士Nanosurf 原子力显微镜
- 日本Ribm原子力显微镜
- 日本AND粒子计数器
- 日本JEOL显微镜
- 德国Bruker光谱仪/显微镜/台阶仪
- 韩国Ecopia美国MMR霍尔效应测试仪
- 探针台
- 美国Sonix超声波扫描显微镜
- 美Royce拉力性能测试及芯片拾取放置
- 美国Filmetrics膜厚测量仪
- 美国RTI自动特性图示仪
- 美国TEX Keithley半导体参数分析仪
- 美国MMR霍尔效应测量仪
- 德国neaspec纳米级红外光谱仪
- 少子寿命测试仪
- 纳米压痕仪
- FEI扫描电镜Thermo光谱仪
- XRD X射线衍射仪
- X 射线多晶衍射仪
- 日本 IAS 化学检测分析系统
- 德国IPI 水汽分析系统
- 德国PVA TePla 超声波扫描显微镜
- 德国ThetaMetrisis膜厚测量仪
实验检测仪器
- PPMS 综合物性测量系统
- MPMS3最新一代磁学测量系统
- Anasazi 科研用小型无液氦核磁共振波谱仪
- DynaCool 全新一代完全无液氦综合物性测量系统
- Oxford pulsar 实验室智能核磁共振波谱仪
- 纽迈核磁共振分业析
- Neaspec 德国真空太赫兹近场光学显微镜
- OptoCool 超精准全开放强磁场低温光学研究平台
- 德Attocube低温强磁场原子力/磁力显微镜
- Super-ME-II多铁性磁电测量系统
- Bruker 手持拉曼光谱仪
- 德国耐驰Netzsch
- 德国Moeller 测角仪
- 美Associated 耐压测试仪
- 接触角测量仪
- 氟油检漏仪
- 光学式坐标测量仪
- 光功率计
- Thorlabs傅立叶红外光谱仪
- 纳米压痕仪
- 日本Tohuko 超高灵敏度材料氧化分析仪
- 超精细多功能无液氦低温光学恒温器
- 振动样品磁强计
- 法Alyxan 高分辨质子传递反应质谱
- nanosc 高精度铁磁共振仪
- 美Microsense 磁克尔效应测量系统
- 智能型氦液化器
- 美OAI 光功率计
- 英Glovebox 手套箱
- LakeShore 振动样品磁强计
- 德国Attocube 显微镜
- 粒子碰撞噪声检测仪
- Rion 液体光学颗粒度仪
- ADLEMA 检漏机
- 德YXLON CT检测
- 电子元器件水份分析仪
紫外清洗等离子清洗机
- 美Harrich 等离子清洗机
- 德Diener 等离子清洗机
- 德PVA Tepla 微波等离子清洗机
- 美Nano-master 晶圆清洗机
- 美国Jelight UV清洗机
- 日本SEN 紫外UV清洗机UV灯
- 蓝星宇UV清洗机
- SAMCO紫外臭氧清洗机
太阳能检测仪
UV灯
日立Hitachi
半导体辅助工艺/光刻胶
光刻胶/硅片
化学开封机 / 激光开封机
日本Elionix
德国Lecia 切片掩膜一体机
尼康Nikon光刻机
奥地利EVG光刻杨键合机压印机
日本理音Rion 微粒子计数器
德国Netzsch
德国YXLON 检测仪
企业档案
会员类型：标准版
已获得阿仪网信誉 等级评定
18成长值
(0 -40)基础信誉积累，可浏览访问
(41-90)良好信誉积累，可接洽商谈
(91+ )优质信誉积累，可持续信赖
阿仪网标准版会员：8年
工商认证 【已认证】
最后认证时间：
注册号： 【已认证】
法人代表： 【已认证】
参观次数：848592
手机网站：http://wap.app17.com/c143096/
公司网站：http://www.lxyee.net
详细内容
URE-2000/A8 紫外光刻机
1、设备主要技术指标：
(1) 曝光面积： 200mm×200mm；
（2）分辨力：2m；
（3）对准精度：2m；
（4）掩模尺寸：5 英寸、7 英寸、9 英寸；
（5）样片尺寸：4 英寸、6 英寸、8 英寸；
（6）wafer chuck 表面：防止光反射涂层；
（7）掩模样片整体运动范围：X：10mm;Y:10mm；
（8）掩模相对于样片运动行程：X: 5mm; Y: 5mm; : 6°；
（9）汞灯功率：1000W（直流）；
（10）曝光能量密度：≥ 15mW/cm 2 ；
（11）曝光峰值波长:365nm；
（12）曝光方式：定时（倒计时方式 0.1s—999.9s）；
（13）调平接触压力通过传感器保证重复
（14）数字设定对准间隙和曝光间隙
（15）具备压印模块接口，也具备接近模块接口
2．技术主要组成部分
（1）曝光头系统包括:
冷光椭球镜；
德国 OSRAM1000W 直流高压汞灯；
XYZ 汞灯调节台；
光学系统（冷光紫外平面反射镜、快门、蝇眼透镜组、冷光紫外抛物面反射镜）；
冷却风扇。
（2）对准工件台系统包括:
掩模样片相对运动台；
（XY），转动台；
样片调平机构；
样片调焦机构；
承片台 3 个： 4 英寸、6 英寸、8 英寸；
掩模夹 3 个：5 英寸、7 英寸、9 英寸。
（3）CCD 对准显微镜系统包括:
4 倍显微镜 2 只；
照明光源 2 套；
CCD 相机 2 只；
22 英寸液晶显示器。
（5）电控系统：
汞灯触发电源(1000W)；
单片机控制系统；
控制柜桌。
（6）气动系统系统包括:
气缸、电磁阀、减压阀、气动开关，电磁阀驱动，气动仪表等
（7）其他配置与附件
真空泵一台；
空压机一台；
配套气管 10m；
3.相关技术资料：
设备使用及维护说明书
出厂检验合格证。
1、设备主要技术指标：
(1) 曝光面积： 200mm×200mm；
（2）分辨力：2m；
（3）对准精度：2m；
（4）掩模尺寸：5 英寸、7 英寸、9 英寸；
（5）样片尺寸：4 英寸、6 英寸、8 英寸；
（6）wafer chuck 表面：防止光反射涂层；
（7）掩模样片整体运动范围：X：10mm;Y:10mm；
（8）掩模相对于样片运动行程：X: 5mm; Y: 5mm; : 6°；
（9）汞灯功率：1000W（直流）；
（10）曝光能量密度：≥ 15mW/cm 2 ；
（11）曝光峰值波长:365nm；
（12）曝光方式：定时（倒计时方式 0.1s—999.9s）；
（13）调平接触压力通过传感器保证重复
（14）数字设定对准间隙和曝光间隙
（15）具备压印模块接口，也具备接近模块接口
2．技术主要组成部分
（1）曝光头系统包括:
冷光椭球镜；
德国 OSRAM1000W 直流高压汞灯；
XYZ 汞灯调节台；
光学系统（冷光紫外平面反射镜、快门、蝇眼透镜组、冷光紫外抛物面反射镜）；
冷却风扇。
（2）对准工件台系统包括:
掩模样片相对运动台；
（XY），转动台；
样片调平机构；
样片调焦机构；
承片台 3 个： 4 英寸、6 英寸、8 英寸；
掩模夹 3 个：5 英寸、7 英寸、9 英寸。
（3）CCD 对准显微镜系统包括:
4 倍显微镜 2 只；
照明光源 2 套；
CCD 相机 2 只；
22 英寸液晶显示器。
（5）电控系统：
汞灯触发电源(1000W)；
单片机控制系统；
控制柜桌。
（6）气动系统系统包括:
气缸、电磁阀、减压阀、气动开关，电磁阀驱动，气动仪表等
（7）其他配置与附件
真空泵一台；
空压机一台；
配套气管 10m；
3.相关技术资料：
设备使用及维护说明书
出厂检验合格证。
热门标签：URE-2000/A8,紫外单面光刻机,光刻机,紫外单面光刻机
