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德国MBE-Komponenten 分子束外延系统OCTOPLUS 400
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品牌名称：$brandModel.Title型号：OCTOPLUS 400原产地：欧洲 更新时间：2026/10/19 9:27:19
OCTOPLUS 400 是一款通用型MBE系统，非常适合于III/V族， II/VI族，及其他复合半导体材料应用。兼容2-4英寸标准晶片。竖直分割式腔体设计，可以装配各种源炉，实现不同材料分子束外延生长。
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德国MBE-Komponenten 分子束外延系统OCTOPLUS 400
OCTOPLUS 400分子束外延是一款通用型MBE系统，非常适合于III/V族， II/VI族，及其他复合半导体材料应用。兼容2-4英寸标准晶片。竖直分割式腔体设计，可以装配各种源炉，实现不同材料分子束外延生长。
系统特点：
● 用于研发的普适性MBE系统
● 应用于III/V族， II/VI族材料外延生长
● 适用于2-4英寸样品
● 8个标准的CF法兰孔(根据要求可以拓展到10个)
● 可以升和选配实现系统扩展
● 原位生长表征
● 易于使用和方便维护
可以根据所有客户的要求，提供不同种类的蒸发源，包括K-cell、电子束蒸发源、热裂解源、阀式裂解源、气体裂解源等。可以使用石英晶振，反射式高能电子衍射仪(RHEED)或者四杆质谱仪实现样品生长的原位监测。 EpiSoft MBE软件可以精确控制所有的挡板，蒸发源源和样品台加热器温度。大程度确保了操作的重复性。
Oclus 400的主要特点是高的可靠性和普适性，以及其占地空间小。这些特点使得我们的系统非常适合于研发。
标准的Oclus 400有8个4.5’’(CF63)法兰口，可以根据需求拓展到10个法兰口。快速进样室(Loading Chamber)配有高精度磁力传输样品杆，可以在不破坏MBE腔室真空的提下进行快速样品传输。
热门标签：MBE-Komponenten,分子束外延系统,OCTOPLUS,400
