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德国MBE-Komponenten 分子束外延系统OCTOPLUS 500

价格:¥电议

品牌名称:$brandModel.Title型号:OCTOPLUS 500原产地:欧洲 更新时间:2026/10/19 9:27:15

产品摘要:OCTOPLUS 500 MBE系统是为了在6英寸衬底上生长高质量的III/V族或者II-VI族异质结构材料而研发业分子束外延系统。样品台选用热解石墨加热或者钨、钽加热丝。标准的OCTOPLUS 500有11个呈放射状分布的源孔,可以根据需要增选3个源孔。

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详细内容

德国MBE-Komponenten 分子束外延系统 OCTOPLUS 500



OCTOPLUS 500 系统是为了在6英寸衬底上生长高质量的III/V族或者II-VI族异质结构材料而研发的。样品台选用热解石墨加热或者钨、钽加热丝。OCTOPLUS 500 MBE系统是公认的非常适合于III/V族, II/VI族或其他异质结构材料生长应用研发与生产。

OCTOPLUS 500 MBE系统的主要特点是高的可靠性和普适性。标准的Oclus 500有11个呈放射状分布的源孔,可以根据需要增选3个源孔。快速抽真空进样室配有水平磁力杆传输系统,可以在不破坏MBE腔室真空的提下,简便地进行样品传输。

OCTOPLUS 500 MBE系统的的主要参数规格:

● ID 550 mm

● 应用于III/V族, II/VI族或其他异质结构材料

● 大6英寸晶片,或7x2英寸晶片

● 进样室和缓冲腔室

● 线性样品传输系统

● 标准法兰孔数目(标准11个,可按要求增加3个)

● 束流源,气体源,样品台

● 抽真空系统(离子吸附泵,分子泵,低温泵等)

● 原位表征能力

● 软件/硬件控制系统

● 额外要求可定制

热门标签:德国MBE-Komponenten,分子束外延系统,OCTOPLUS,500

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