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多波段定制型紫外光刻机URE-2000/30 D
价格：￥490000
品牌名称：$brandModel.Title型号：URE-2000/30 D原产地：中国大陆 更新时间：2026/10/19 9:27:31
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详细内容
URE-2000/30D型（定制）紫外光刻机
1．技术参数
曝光面积：4 英寸
曝光波长 1：365nm 或 405nm（可切换，更换滤光片），
曝光波长 2：248nm
曝光位置 1 和曝光位置 2 自动切换
分辨力：0.8-1m
掩模尺寸：2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸（标准配置，其他尺寸可定做）
样片尺寸：直径10mm--100mm 或者 15mm15mm-100mm100mm(标准配置，其他尺寸可定做），可适应厚度为 0.1mm--5mm(最大可扩展为 15mm)
曝光方式：定时（倒 计 时方式）
具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光，以及接近式曝光四种功能
照明不均匀性：3%（100mm 范围）
调平接触压力通过传感器保证重复
数字设定对准间隙和曝光间隙
掩模相对于样片运动行程：X: 优于5mm; Y: 优于5mm;:优于6º
最大焦厚：400m（SU8 胶，用户提供检测条件）
光源平行性：＜3º
曝光能量密度 1：＞20mW/cm²（365 或 405nm），照明面温度<35º
曝光能量密度 2：＞3mw/cm²（248nm）
单层曝光一键完成
采用球气浮自动找平
汞灯功率：350W（直流，进口汞灯）
2．外形尺寸：约1400mm（长）900mm(宽)1800mm（高）
3．配置设备主要由均匀照明曝光系统、工件台系统、电控系统、气动控制系统及辅助配套设备构成。
热门标签：URE-2000/30D,多波段光刻机,紫外光刻机
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